ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器  / 超集積システム

ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム  / 超集積システム

東北大学   高等研究機構

2019年12月 - 2022年3月

IMEC（大学共同利用半導体研究機関）   客員研究員

2015年2月 - 2015年3月

東北大学   マイクロシステム融合研究開発センター   准教授

2014年4月 - 2020年3月

IMEC（大学共同利用半導体研究機関）   客員研究員

2014年1月 - 2014年2月

IMEC（大学共同利用半導体研究機関）   客員研究員

2011年12月 - 2012年3月

東北大学   原子分子材料科学高等研究機構   助教

2008年8月 - 2014年3月

九州大学   システムLSI研究センター   助教

2007年4月 - 2008年7月

九州大学   システムLSI研究センター   助手

2005年4月 - 2007年3月

米国富士通研究所アメリカ   インターンシップ訓練生

2004年7月 - 2004年10月

IEEE Young Professionals

電気学会（The Institute of Electrical Engineers of Japan）

Transducers 2023 (The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Acutators and Microsystems) Technical Program Committee  

2022年11月 - 2023年6月   

Transducers 2023   Transducers 2023，TPC: Technical Program Committee  

2022年11月   

応用物理学会   超集積エレクトロニクス産学連携委員会 幹事（庶務幹事）  

2022年4月 - 現在   

応用物理学会   超集積エレクトロニクス産学連携委員会 幹事（幹事）  

2022年4月 - 現在   

応用物理学会   超集積エレクトロニクス産学連携委員会 幹事（次期庶務幹事）  

2022年4月 - 2022年12月   

河北新報社、東北工業大学、全国新聞社事業協議会   2022年度宮城県小学生プログラミング大会（兼・全国選抜小学生プログラミング大会宮城県予選）審査員  

2022年   

河北新報社、東北工業大学、全国新聞社事業協議会   2021年度宮城県小学生プログラミング大会（兼・全国選抜小学生プログラミング大会宮城県予選）審査員  

2021年11月   

電気学会   機能性材料とヒト感性マイクロシステム調査専門委員会  

2021年10月 - 2024年9月   

2021年度宮城県小学生プログラミング大会（兼・全国選抜小学生プログラミング大会宮城県予選） 審査員  

2021年8月 - 2022年3月   

文部科学省   科学技術・学術政策研究所(NISTEP)の「科学技術の状況に係る総合的意識調査(NISTEP定点調査)」  

2021年 - 現在   

2020年度宮城県小学生プログラミング大会（兼・全国選抜小学生プログラミング大会宮城県予選）   審査員  

2020年11月   

宮城県経済商工観光部自動車振興室   みやぎカーインテリジェント人材育成センター運営委員会  

2020年 - 現在   

電気学会（IEEJ）E部門編修委員（MSS：マイクロマシン･センサシステム）  

2019年 - 現在   

電気学会（IEEJ）E部門論文委員会 幹事  

2019年 - 現在   

電気学会   （IEEJ）E部門論文委員会 幹事  

2019年 - 現在   

電気学会   （IEEJ）E部門編修委員（MSS：マイクロマシン･センサシステム）  

2019年 - 現在   

日本学術振興会   シリコン超集積システム第165委員会 幹事  

2019年 - 2022年3月   

文部科学省 科学技術・学術政策研究所 科学技術予測センター 科学技術専門家ネットワーク 専門調査員  

2018年 - 現在   

文部科学省   科学技術・学術政策研究所 科学技術予測センター 科学技術専門家ネットワーク 専門調査員  

2018年 - 現在   

ASP-DAC, Asia and South Pacific Design Automation Conference（ASP-DAC2018）のTechnical Program Committee Member（Area13 Emerging Application）  

2017年 - 2019年   

ASP-DAC, Asia and South Pacific Design Automation Conference（ASP-DAC2018）   Technical Program Committee Member（Area13 Emerging Application）  

2017年 - 2019年   

JCK MEMS/NEMS 2016, 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMSのProgram Committee（平成28年 Best Presentation Award Committee）  

2016年 - 現在   

電気学会(IEEJ)E部門論文委員編修幹事  

2016年 - 現在   

JCK MEMS/NEMS   7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMSのProgram Committee  

2016年 - 現在   

電気学会(IEEJ)   E部門論文委員編修幹事  

2016年 - 現在   

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員分野３主査  

2016年 - 2017年   

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   論文委員分野３主査  

2016年 - 2017年   

IEEE NEMS 2016のExecutive Technical Program Committee MemberとTechnical Tour担当  

2016年   

IEEE NEMS 2016   Executive Technical Program Committee MemberとTechnical Tour担当  

2016年   

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員分野３副査  

2015年 - 2016年   

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   論文委員分野３副査  

2015年 - 2016年   

電子通信情報学会「Special Section on Low-Power and High-Speed Chips」英文論文誌小特集編集委員会編集委員  

2014年 - 現在   

電子通信情報学会   「Special Section on Low-Power and High-Speed Chips」英文論文誌小特集編集委員会編集委員  

2014年   

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員（分野３『センサ･アクチュエータシステム』）  

2013年 - 現在   

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   論文委員（分野３『センサ･アクチュエータシステム』）  

2013年 - 現在   

電気学会(IEEJ)E部門論文委員  

2011年 - 2016年   

電気学会(IEEJ)E部門   論文委員  

2011年 - 2016年   

電気情報通信学会（IEICE）回路とシステムワークショップと連携した英文論文誌小特集号の編集委員  

2011年 - 2013年   

電気学会（IEEJ）E部門「シミュレーションを活用したトップダウンMEMS解析設計技術調査専門委員会」委員  

2011年 - 2013年   

電気学会（IEEJ）   E部門「シミュレーションを活用したトップダウンMEMS解析設計技術調査専門委員会」委員  

2011年 - 2013年   

電気情報通信学会（IEICE）   回路とシステムワークショップと連携した英文論文誌小特集号の編集委員  

2011年 - 2013年   

SASIMI, Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologiesのTechnical Program Committee Member（Design Experiences Subcommittee）  

2010年 - 現在   

ASP-DAC, Asia and South Pacific Design Automation ConferenceのTechnical Program Committee Member（Area02 System-Level Synthesis and Optimization）  

2010年   

SASIMI, Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information technologies   Technical Program Committee Member（Design Experiences Subcommittee）  

2010年   

ASP-DAC, Asia and South Pacific Design Automation Conference   Technical Program Committee Member（Area02 System-Level Synthesis and Optimization）  

2010年   

電子情報通信学会総合ハンドブック「知識ベース：6群6編、組込みシステム」編集幹事  

2009年 - 2011年   

電子情報通信学会   総合ハンドブック「知識ベース：6群6編、組込みシステム」編集幹事  

2009年 - 2011年   

Cool Chips, IEEE Symposium on Low-Power and High-Speed ChipsのPoster Chair  

2008年 - 2010年   

回路とシステムワークショップのTechnical Program Committee Member  

2008年 - 2010年   

回路とシステムワークショップ   Technical Program Committee Member  

2008年 - 2010年   

‐   ‐  

2008年 - 2010年   

VDEC Designers Forumの運営委員  

2008年   

ASSCC, IEEE Asian Solid-State Circuit ConferenceのVice-Local Arrangement  

2008年   

東京大学大規模集積システム設計教育研究センター（VDEC）協力研究員  

2008年   

東京大学   大規模集積システム設計教育研究センター（VDEC）協力研究員  

2008年   

VDEC Designers Forum   運営委員  

2008年   

ASSCC, IEEE Asian Solid-State Circuit Conference   Vice-Local Arrangement  

2008年   

Cool Chips, IEEE Symposium on Low-Power and High-Speed ChipsのTechnical Program Committee Member  

2007年 - 2021年4月   

（財）機械振興協会   「『アジア海廊』における機械産業の集積間生産分業と市場開拓に関する調査研究」委員  

2007年   

Cool Chips, IEEE Symposium on Low-Power and High-Speed Chips   Technical Program Committee Member  

2007年   

「Ubiquitous Wireless Networkに関する調査研究」委員  

2006年   

「Ubiquitous Wireless Networkに関する調査研究」   委員  

2006年   

みやぎカーインテリジェント人材育成センター

2020年4月 - 2023年3月

MEMSとLSIをコアとしたエッジヘビーセンシング、科学技術未来戦略ワークショップ報告書【多様なデータの取得・統合処理を可能にするセンサ融合基盤技術～センシング情報の高付加価値化に向けて～】 招待

室山真徳

JST CRDS報告書   76 - 82   2020年3月

Design and Fabrication Technology of Low Profile Tactile Sensor with Digital Interface for Whole Body Robot Skin 査読

Mitsutoshi Makihata, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Masayoshi Esashi

Sensors 2018   18 ( 7 )   1 - 14   2018年7月

MEMS-LSI集積化とシステム実装が可能にするエッジヘビーセンシング 招待

室山真徳

第24回シンポジウム「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」   31 - 36   2018年

3-Axis Fully-Integrated Capacitive Tactile Sensor with Flip-Bonded CMOS on LTCC Interposer 査読

Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka

Sensors 2017   17 ( 11 )   1 - 14   2017年10月

A Tactile Sensor Network System Using a Multiple Sensor Platform with a Dedicated CMOS-LSI for Robot Applications 査読

Chenzhong Shao, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutanaka Nonomura, Masanori Muroyama

Sensors 2017   17 ( 9 )   1 - 13   2017年8月

Multi-sensor platform LSI enabling different sensors to be event-driven and connected to common differental bus line 査読

Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems   1156 - 1159   2017年7月

CMOS-on-LTCC Integrated Fingertip Sensor with 3-Axis Tactile and Thermal Sensation for Robots 査読

Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

Transducers 2017   516 - 519   2017年

Surface-Mountable Capacitive Tactile Sensors with Flipped CMOS-Diaphragm on a Flexible and Stretchable Bus Line 査読

Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A   240   167 - 176   2016年2月

A CMOS-LSI for a Sensor Network Platform of Social Robot Applications 査読

Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Travis Bartley, Shuji Tanaka

Smart Systems Integration 2016   320 - 327   2016年

Delay Window Blind Oversampling Clock and Data Recovery Algorithm with Wide Tracking Range 査読

Travis Bartley, Shuji Tanaka, Yutaka Nonomura, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama

ISCAS 2015   1598 - 1601   2015年

Tactile Sensor Network System with CMOS-MEMS Integration for Social Robot Applications 査読

Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Yoshiyuki Hata, Masayoshi Esashi

Smart Systems Integration 2014   181 - 188   2014年

A 1.7mm3 MEMS-on-CMOS tactile sensor using human-inspired autonomous common bus communication 査読

M. Makihata, M. Muroyama, Y. Nakano, S. Tanaka, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, H. Funabashi, Y. Hata, M. Esashi

2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013   2729 - 2732   2013年

ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発 査読

室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E   131 ( 8 )   302 - 309   2011年

Hierarchical Low-Power VLSI Design Techniques Considering Input Signal Transition Behavior 査読

室山真徳

九州大学博士論文   2008年1月

ウェアラブルセンサに向けた慣性センサと曲げセンサを用いたカルマンフィルタによる姿勢角検知

大西 伶哉, 室山 真徳, 畑 良幸

磁気センサ・各種センサシステム及びアクチュエータの基礎と応用   2025年12月

感覚センサ統合型ロボットハンドリングの要素技術に関する研究

室山真徳, 宮田唯統, 郷古翼, 横山颯汰, 佐々木海人, 吉田航大, 和知龍祥

東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要 EOS   38 ( 1 )   35 - 40   2025年12月

把持力・指動作・身体軌道センシングシステムによるゴルフスイングの視覚化基盤の構築 査読

室山 真徳, 宮田 唯統, 高橋 大智, 大川 優, 和知 龍祥

第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム   1 - 2   2025年11月

多点検知とデータ輻輳の抑制を両立するPID式データ量制御機能をともなったイベントドリブン型センシングシステム 査読

野間 駿介, 室山 真徳, 畑 良幸

第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム   1 - 5   2025年11月

センサグローブを用いた握手動作の検出とマッキンベン型人工筋肉による仮想握手再現システムの開発 査読

宮田 唯統, 室山 真徳

第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム   1 - 6   2025年11月

DEMONSTRATION OF >30K-CYCLE STABILITY OF A PRINTEDCIRCUIT-BOARD-BASED NETWORK TACTILE SENSOR WITH EMBEDDED SENSOR PLATFORM LSI 査読

Jorge E. López, Masanori Muroyama, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Transducers 2025   1653 - 1656   2025年7月

作業状況把握のための多種センサを統合した多関節制御可能な双腕ロボットの開発

佐々木海人, 吉田航大, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会   215 - 216   2025年3月

3Dビジョンセンサとセンサグローブによるゴルフスイングのマルチモーダル解析に関する研究

和知龍祥, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会   217 - 218   2025年3月

マッキンベン型人工筋肉を用いた握手提示のための力センシングに基づくフィードバック制御システムの基礎研究 査読

宮田唯統, 鈴木敬太, 鎌田隆杜, 室山真徳

情報処理学会インタラクション2025   562 - 566   2025年3月

の作用・動作解析のための専用センサグローブシステムの開発とデータ解析

郷古翼, 横山颯汰, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会   75 - 76   2025年3月

マルチモーダルセンシングによる遠隔ロボット操作を実現するための要素技術の研究開発

室山真徳, 髙橋隼, 熊谷晃成, 清野真生, 戸田翔也, 小山内勇貴, 冨澤誠斗, 鈴木敬太, 鎌田隆杜

東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要 EOS   37 ( 1 )   17 - 22   2025年2月

イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイの開発と応用展開

室山真徳

車載テクノロジー   12 ( 4 )   52 - 56   2025年1月

力・曲げセンサを備えたセンサグローブから得られる時系列動作データによる行動分類機械学習技術の開発 査読

室山 真徳, 畑 良幸

第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム   26A3-PS-26   1 - 6   2024年11月

PCB-based Single-axis Capacitive Tactile Sensor with Embedded Sensor Platform LSI 査読

Lopez Jorge, Muroyama Masanori, Tsukamoto Takashiro, Tanaka Shuji

第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム   25P4-PS-99   1 - 2   2024年11月

スモール時系列センシングデータを用いた高性能エッジ機械学習システムの研究開発 査読

室山 真徳,斎藤 泰知,小原 龍輝,齋藤 昂生,阿部 太一,阿部 秀彦,大塚 亮平,阿部 慎之介,小田 龍哉,齋藤 栄騎

東北工業大学地域連携センター／研究支援センター紀要EOS   2024・3 VOL.36 ( 1 )   9 - 14   2024年3月

Object judgment with an event‐driven MEMS‐LSI integrated tactile sensor array system 査読

Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

Translated from Volume 143 Number 7, pages 164–170, DOI: 10.1541/ieejsmas.143.164 of IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (Denki Gakkai Ronbunshi E).   143 ( 7 )   164 - 170   2023年8月

力と曲げデータが取得可能なセンサグローブの開発とその応用

阿部太一, 阿部秀彦, 室山真徳

令和５年東北地区若手研究者発表研究会   2023年3月

曲げセンサデータを用いた手の作業習熟に関する動作解析

大塚亮平, 阿部慎之介, 室山真徳

令和５年東北地区若手研究者発表研究会   2023年3月

静電容量型センサを用いたテクスチャセンシングに関する一考察

齋藤昂生, 室山真徳

令和５年東北地区若手研究者発表研究会   2023年3月

振動提示フィードバックシステムの検討

小田龍哉, 室山真徳

令和５年東北地区若手研究者発表研究会   2023年3月

エッジ推論デバイスのセンシング性能評価に関する考察

齋藤栄騎, 室山真徳

令和５年東北地区若手研究者発表研究会   2023年3月

エネルギー消費に着目した指曲げ動作の解析

室山真徳, 齋藤翔馬

令和５年電気学会全国大会   2023年3月

遠隔ロボット操作技術のインタラクション性能向上に関する検討 査読

東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要（EOS）   35 ( 1 )   33 - 38   2023年1月

Magnetic Foam as Potential Tactile Sensor 査読

Gildas Digue, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka

7th International Conference on Advances in Functional Materials   2023年1月

MEMS-LSI集積化触覚センサを用いたアクティブセンシングによるテクスチャ分類に関する研究 査読

齋藤昂生, 田中秀治, 室山真徳

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2022年11月

イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイシステムと機械学習による物体識別の検討 査読

室山真徳, 田中秀治

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2022年11月

Magnetic properties of Fe–Si–B thin films and their application as stress sensors

Gildas Diguet, Kei Makabe, Joerg Froemel, Hiroki Kurita, Fumio Narita, Masanori Muroyama

Thin Solid Films   758   139428 - 139428   2022年9月

A Basic Study of Texture Classification by Active Sensing Using a MEMS-LSI Integrated Tactile Sensor

Takao Saitou, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama

The 13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2022   2022年9月

Touch Sensor Based on Highly Compressive Magnetic Foam Composite

Gildas Diguet, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka

2022 Smart Systems Integration (SSI)   2022年4月

Stress Impedance Effect MEMS Sensors with Very High Gauge Factor 査読

Joerg Froemel, Gildas Digue, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka

Smart Systems Integration Conference and Exhibition   2022年4月

人体装着型外骨格デバイスにより操縦可能なロボットアームの作製と評価に関する研究

佐々田一歩, 阿部樹, 室山真徳

令和4年東北地区若手研究者発表会   147 - 148   2022年2月

遠隔操作ロボットを用いた遠隔作業タスクの評価に関する研究

赤間雅規, 小山颯太, 室山真徳

令和4年東北地区若手研究者発表会   249 - 250   2022年2月

テクスチャセンシングとテクスチャ再現提示に関する研究

佐藤直之, 室山真徳

令和4年東北地区若手研究者発表会   251 - 252   2022年2月

指の曲げに関するセンシングデータを取得可能なセンサグローブによる動作識別の検討

齋藤翔馬, 室山真徳

令和4年東北地区若手研究者発表会   253 - 254   2022年2月

Tactile Sensing Using Magnetic Foam 査読

Gildas Diguet, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka

Polymers   14 ( 834 )   1 - 11   2022年2月

ニューノーマル時代のためのモーションインタフェースの研究開発

室山真徳, 小野寺充喜, 木村純, 高橋優樹, 西村健志, 齋藤昂生, 佐竹佑太

東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要EOS   34 ( 1 )   1 - 9   2021年11月

Micromechanical Force Sensor Using the Stress–Impedance Effect of Soft Magnetic FeCuNbSiB 査読

Joerg Froemel, Gildas Diguet, Masanori Muroyama

Sensors   22 ( 21 )   1 - 16   2021年11月

Magnetic Properties of FeSiB for Sensing Application 査読

Gildas Diguet, Kei Makabe, Joerg Froemel, Hiroki Kurita, Fumio Narita, Masanori Muroyama

Eighteenth International Conference on Flow Dynamics   140 - 141   2021年10月

センサプラットフォームLSIを基にしたマルチセンシングシステムを構築するためのアプリケーションプログラミングインタフェースの開発 査読

室山真徳, 田中秀治

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   2021年10月

MEMS-LSI 集積化触覚センサネットワークシステムとそのビジネス応用の可能性，Transducers2021・参加報告 招待

室山真徳

有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 第41 回定例会【概要集】   2021年9月

MEMS-LSI集積化触覚センサネットワークシステムとエッジヘビーセン シングへの展開 招待

室山真徳

応用物理学会 2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会，センサ融合に向けたセンサ集積技術，【概要】   2021年9月

Moment detection by integrated tactile sensors for partner robot applications

Motohiro Fujiyoshi, Yoshiyuki Hata, Kazuhiro Mima, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama

Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)   214 ( 2 )   2021年6月

Development of an Application Programming Interface for a Multi-Sensing System Based on Sensor Platform LSIs 査読

Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

2021 6th International Conference on Business and Industrial Research (ICBIR 2021)   109 - 112   2021年5月

曲げセンサを用いたマスタースレーブ操作型外骨格デバイスの試作と評価

佐竹佑太, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   151 - 152   2021年3月

グローブ型モーションセンシングシステムによる人の動作把握の可能性検討

高橋優樹, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   145 - 146   2021年3月

VRを用いた立体直描による個人の身体形状を考慮した装着型デバイスの形状設計方法の開発と評価

西村健志, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   147 - 148   2021年3月

臨場感向上のためのレゾナントデバイスを用いた触覚提示法の開発

小野寺充喜, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   141 - 142   2021年3月

現実の触覚刺激と擬似視覚提示との関係性を調査するための環境構築

木村純, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   143 - 144   2021年3月

集積化触覚センサを用いたアクティブセンシングによるテクスチャ識別の検討

齋藤昂生, 田中秀治, 室山真徳

令和3年東北地区若手研究者発表会   149 - 150   2021年3月

Slip Detection by MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor with Surface Covering Structure 査読

Javaid Sumeyya, 平野 栄樹, 田中 秀治, 室山 真徳

第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   26P2-SS2-4   1 - 6   2020年10月

Fabrication and Characterization of Surface Covering Structures with MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor toward Practical Robot Applications

Sumeyya Javaid, Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

令和2年度E部門総合研究会   MSS-20-25   25 - 29   2020年7月

センサ・プラットフォームLSIを用いた近接・触覚センサモジュール開発とロボット実装

野本宗鷹, 宮口裕, 邵晨鐘, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治

令和2年電気学会全国大会   203   2020年3月

ロボット指実装用温力感センサヘッド設計のためのFEM熱解析 査読

大橋祐也, 森遼雅, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村裕

令和2年電気学会全国大会   217   2020年3月

触覚神経網チップを用いた温力感センサスティックによる熱流の測定 査読

土屋駿斗, 菅沼雄介, 室山真徳, 中山貴裕, 野々村裕

電気学会論文誌E   139 ( 8 )   258 - 264   2019年8月

官能表現により分類された布地の摩擦感計測と評価 査読

三島伊吹, 室山真徳, 野々村裕

電気学会論文誌E   139 ( 5 )   114 - 120   2019年5月

Development of A Serial Bus Rerouting System with Real-Time Failure Detection and Reconstruction for Event-Driven Sensor Network Systems 査読

Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Motohiro Fujiyoshi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 3   2019年

パートナーロボットへの応用を目指した集積化力覚センサによるモーメント検知 査読

藤吉基弘, 畑良幸, 美馬一博, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治, 中山貴裕

第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 4   2019年

HW/SW協調型エッジヘビーセンシングの実現と社会実装への挑戦

室山真徳

第2回COI学会   O24   2019年

Tactile Sensing System Module with Multiple CMOS-MEMS Integrated Sensors on 16Mbps High Speed Shared Serial Bus Line 査読

Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Munetaka Nomoto, Hiroshi Miyaguchi, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Motohiro Fujiyoshi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

Transducers 2019   562 - 565   2019年

小型熱流センサによる熱流計測と素材との関係

樋口創太, 大橋裕也, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村 裕

平成31年電気学会全国大会   3-167   2019年

温力感センサヘッド設計のためのFEM熱解析

大橋祐也, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村 裕

平成31年電気学会全国大会   3-179   2019年

神経網型センシングシステムの無線化と応用についての提案

尾關涼哉, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村 裕

平成31年電気学会全国大会   3-158   2019年

Proposal of Wireless Nerve-net Sensing System 査読

Ryouya Oeki, Yusuke Suganuma, Tomomi Mizutani, Kohei Suzuki, Shouta Ito, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura

The 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2019)   73 - 77   2019年

A CMOS-MEMS Integrated Tactile Sensor Module and Its System Evaluation for Robot Applications 査読

Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Munetaka Nomoto, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

JCK MEMS/NEMS 2019 (the 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2019)   49 - 50   2019年

神経網型センシングシステムにおけるデータ通信の開発

伊藤翔太, 鈴木康平, 菅沼雄介, 土屋駿斗, 尾關涼哉, 室山真徳, 野々村裕

令和元年度E部門総合研究会   MSS-19-029   2019年

Deep Through Silicon Via in Laser-Ablated CMOS Multi-Project Wafer for Surface-Mountable Integrated MEMS 査読

Yukio Suzuki, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

SSI 2019 (Smart Systems Integration 2019)   177 - 180   2019年

Integrated 3-Axis Tactile Sensor Using Quad-Seesaw-Electrode Structure on Platform LSI with Through Silicon Vias 査読

Yoshiyuki Hata, Yukio Suzuki, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yoshiteru Omura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A   273   30 - 41   2018年2月

Autocorrelation-Based Randomness Test of Sequence of Data Packets Sent by 16 Interface LSIs with Autonomous Operation 査読

Chenzhong Shao, Hiroshi Miyaguchi, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

第10回集積化MEMSシンポジウム   1 - 5   2018年

Heat Flow Measurement by a Force and Thermal Sensor Stick for Robots with a Nerve-Net LSI Chip 査読

Hayato Tsuchiya, Keito Oshima, Yusuke Suganuma, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura

Eurosensors 2018   1 - 5   2018年

Analysis of Event-Driven Operation of Serial Bus Network Type Multi-Sensor Platform Based on Configurable Interface LSI 査読

Chenzhong Shao, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

JCK MEMS/NEMS 2018 (The 9th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS)   67 - 68   2018年

温力感センサスティックの提案と試作

土屋駿斗, 大島慧斗, 室山真徳, 野々村裕

平成30年電気学会全国大会   224   2018年

Physical Characteristics and Sensual Expressions on Fabrics 査読

Ibuki Mishima, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura

APCOT 2018   1 - 2   2018年

温感センシングシステムによる睡眠時の体表面温度測定

柴尾純, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村裕

平成30年電気学会全国大会   238   2018年

Connection OF 48 Sensors on The Same Serial Bus Line for Human Inspired Event Driven Tactile Sensation Covering Wide Spatial Range over 2 Meters at Millimeter Resolution 査読

Chenzhong Shao, Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

MEMS 2018   866 - 869   2018年

センサ・プラットフォームLSIを利用したイベントドリブン型ネットワークシステムの信号衝突と消費電力の解析 査読

野本宗鷹, 邵晨鐘, 宮口裕, 中山貴裕, 田中秀治, 室山真徳

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 ( 5 )   2018年

レーザー消去された0.13µm CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへのTSV加工 査読

鈴木裕輝夫, 畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 4   2018年

有限要素法によるロボット用温力感センサヘッドの熱解析

大橋 祐也, 土屋 駿斗, 室山 真徳, 野々村 裕

フィジカルセンサ研究会   21 - 24   2018年

センサ・プラットフォームLSIを組込んだ集積化指先センサにおける力と温度の同時センシングシステム 査読

室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 藤吉基弘, 田中秀治

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 4   2018年

触覚神経網チップを用いた温力感センサスティックによる熱流測定 査読

土屋駿斗, 大島慧斗, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村裕

第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 4   2018年

Quad-Seesaw-Electrode Type 3-Axis Tactile Sensor with Low Nonlinearities and Low Cross-Axis Sensitivities 査読

Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Motohiro Fujiyoshi, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka

Sensors and Actuators A   266   24 - 35   2017年9月

300 μm Deep through silicon via in laser-ablated CMOS multi-project wafer for cost-effective development of integrated MEMS 査読

Yukio Suzuki, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Yoshiyuki Hata, Takahiro Nakayama, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)   744 - 748   2017年2月

マルチセンサ・プラットフォームLSIを用いた複数物理量の測定システム 査読

室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 田中秀治

第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 4   2017年

センサプラットフォームLSIと貫通配線LTCC基板を用いた集積化指先センサの作製とアクティブセンシングによる材料識別の実証 査読

浅野翔, 室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 田中秀治

第9回集積化MEMSシンポジウム   1 - 4   2017年

マルチカラム超並列電子線直接描画装置のための小型電子光学系シミュレーションと電子源開発の状況

小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田孝, 須田隆太郎, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義

応用物理学会 次世代リソグラフィ技術研究会（NGL2017）   18   2017年

布地の摩擦計測と摩擦感評価との関係 査読

三島伊吹, 井上祐輔, 八幡拓真, 中山貴裕, 室山真徳, 野々村裕

第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 4   2017年

20 Milliwatt Class Ultralow Power Integrated OCXO Using Polyimide and Thin Film Metal Connection Suspended in Vacuum Packaging 査読

Takanori Suzuki, Masanori Muroyama, Tomoyuki Taira, Noritoshi Kimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka

Transducers 2017   435 - 438   2017年

Fully-Integrated, Fully-Differential 3-Axis Tactile Sensor on Platform LSI with TSV-Based Surface-Mountable Structure 査読

Yoshiyuki Hata, Yukio Suzuki, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yoshiteru Omura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka

Transducers 2017   500 - 503   2017年

Simulation Analysis of a Miniaturized Electron Optics of the Massively Parallel Electron-Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-Column System 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

SPIE 2017   1 - 2   2017年

Serial Communication Performance of Networked Sensor Platform LSIs with Differential Signaling for Multi-Sensor System Implementation 査読

Chenzhong Shao, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama

第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 2   2017年

摩擦感テスタによる布地の計測と官能評価

三島伊吹, 井上祐輔, 八幡拓真, 中山貴裕, 室山真徳, 野々村裕

平成29年電気学会全国大会   202   2017年

神経網型センシングシステム用LSIチップを用いたロボット用温力感センサヘッドの試作

土屋駿斗, Shao Chenzhong, 新海拓哉, 中山貴裕, 平野栄樹, 田中秀治, 室山真徳, 野々村裕

平成29年電気学会フィジカルセンサ研究会   25 - 28   2017年

Cu Thin Film Polyimide Heater for Nerve-Net Tactile Sensor 査読

Yusuke Suganume, Minoru Sasaki, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura

Eurosensors 2017   1 - 6   2017年

マルチセンサプラットフォーム用マルチポイントバス接続型シングルエンド通信方法の提案

邵晨鐘, 田中秀治, 室山真徳

平成29年電気学会全国大会   19 - 20   2017年

Fabrication of through silicon via with highly phosphorus-doped polycrystalline Si plugs for driving an active-matrix nanocrystalline Si electron emitter array 査読

Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016   578 - 582   2016年11月

A multiple sensor platform with dedicated CMOS-LSIs for robot applications 査読

Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama

2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016   245 - 250   2016年11月

高荷重応用を目的とした厚膜ダイアフラムとストッパ構造をもつCMOS-on-LTCC集積化3軸触覚センサの開発 査読

浅野翔, 室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治

第8回 集積化MEMSシンポジウム   1 - 4   2016年

3-Axis Fully-Integrated Surface-Mountable Differential Capacitive Tactile Sensor by CMOS Flip-Bonding 査読

Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yohisyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka

MEMS 2016   850 - 853   2016年

Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write system 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

SPIE 2016   977712-1 - 977712-9   2016年

17×17並列電子源駆動システムの開発 査読

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E   136 ( 9 )   413 - 419   2016年

神経網型触覚センサ用LSIを用いた温感センシングの提案 査読

菅沼雄介, Chenzhong Shao, 外山真一郎, 吉川正太, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 田中秀治, 室山真徳, 野々村裕

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2016年

超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討 査読

小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田孝, 須田隆太郎, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 5   2016年

表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製 査読

鈴木裕輝夫, 福士秀幸, 室山真徳, 畑良幸, 中山貴裕, 平野栄樹, 野々村裕, 田中秀治

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2016年

シーソ電極型触覚センサとセンサプラットフォームLSIの積層実装デバイスの作製と動作検証 査読

畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 橋本昭二, 大平喜恵, 大村義輝, 田中秀治, 室山真徳

第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2016年

A Multiple Sensor Platform with Dedicated CMOS-LSIs for Robot Applications 査読

Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutanaka Nonomura, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama

IEEE NEMS 2016   1 - 6   2016年

Development of MEMS Electrostatic Condenser Lens Array of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write System 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida

IEEE NEMS 2016   1 - 5   2016年

Development of a MEMS Electrostatic Condenser Lens Array for nc-Si Surface Electron Emitter of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write System 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Ryutaro Suda, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2016   63 - 64   2016年

Microsystem Integration Technologies for the Next Generation Robot Tactile Systems and Platform CMOS-LSIs 招待

Masanori Muroyama

The Taiwan and Japan International Exchange Symposium   33   1 - 6   2016年

Fabrication of Through Silicon Via with Highly Phosphorus-Doped Polycrystalline Si Plugs for Driving an Active-Matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array 査読

Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

IEEE NEMS 2016   1 - 5   2016年

Massive Parallel Electron Beam Direct Write (MPEBDW) 査読

Hiroshi Miyaguchi, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

IEEE NEMS 2016   2016年

ポリイミドフィルムと薄膜配線を用いた集積型OCXOチップのパッケージ内空中実装技術の開発 査読

鈴木孝典, 室山真徳, 平智幸, 木村悟利, 田中秀治

第8回 集積化MEMSシンポジウム   1 - 5   2016年

シーソ電極型3軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路計測

野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 大村義輝, 藤吉基弘, 明石照久, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 福士秀幸, 田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜

名城大学理工学部研究報告書   ( 56 )   21 - 27   2016年

超並列電子線描画用LSIの設計と評価 査読

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 金子亮介, 戸津健太郎, 田中秀治, 越田信義, 江刺正喜

電気学会論文誌E   135 ( 10 )   374 - 381   2015年10月

Flipped CMOS-diaphragm capacitive tactile sensor surface mountable on flexible and stretchable bus line 査読

S. Asano, M. Muroyama, T. Bartley, T. Kojima, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, Y. Hata, H. Funabashi, S. Tanaka

2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015   97 - 100   2015年8月

Development of ballistic hot electron emitter and its applications to parallel processing: active-matrix massive direct-write lithography in vacuum and thin-film deposition in solutions

Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS   14 ( 3 )   2015年7月

超並列電子線描画装置用アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価に関するレビュー 査読

池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜

電気学会論文誌E   135 ( 6 )   221 - 229   2015年6月

Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin-Film Deposition in Solutions 査読

Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

Journal of Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS   14 ( 3 )   031215-1 - 031215-7   2015年3月

Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions 査読

Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Hitoshi Nishino, Sinya Yoshida, Masanori Sugata, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi

2015 SPIE   942313-1 - 942313-7   2015年

MEMS センサとCMOS-LSI を用いたバスネットワーク型触覚センサのシステム実証 査読

室山真徳, Travis Bartley, 中山貴裕, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2015年

CMOSダイアフラムとLTCC貫通ビアの集積化による3 軸触覚センサの試作 査読

浅野翔, 室山真徳, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2015年

A MEMS-CMOS Technology Based Tactile Sensor Network System 査読

Masanori Muroyama, Sho Asano, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka

The 6th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015   23 - 24   2015年

Sensor Network Serial Communication System with High Tolerance to Timing and Topology Variations 査読

Travis Bartley, Shuji Tanaka, Yutaka Nonomura, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Masanori Muroyama

IEEE SENSORS 2015   362 - 365   2015年

センサと電極を同面配置した集積化触覚デバイスのためのフレキシブル基板実装技術の開発 査読

鈴木孝典, 室山真徳, 田中秀治

第7回 集積化MEMSシンポジウム   1 - 5   2015年

17×17 並列電子線露光システムの開発 査読

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 田中秀治, 江刺正喜

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2015年

超並列電子線描画装置用nc-Si（ナノシリコン）面電子源のためのMEMS 静電コンデンサレンズアレイの開発 査読

小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜

第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム   1 - 6   2015年

Application of MEMS Technology to Next Generation Lithography-Massive Parallel Electron Beam Lithography and Filter for EUV

Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Yukio Suzuki

China Semiconductor Tech. Internal. Conf., (CSTIC 2015)   2015年

35Mbps非同期バス通信型触覚センサシステムの開発 査読

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳宏, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

電気学会論文誌E   134 ( 9 )   300 - 307   2014年

超並列電子線描画用LSIの設計と評価 査読

宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 吉田孝, 戸津健太郎, 田中秀治, 江刺正喜

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 6   2014年

CMOS-LSI/LTCC基板積層構造を有する集積化触覚センサの作製と実装 査読

浅野翔, 室山真徳, 引地広介, 小島貴裕, 江刺正喜, 田中秀治, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸

第6回「集積化MEMSシンポジウム」   1 - 6   2014年

シーソ電極型3軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路による動作 査読

野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 大村義輝, 藤吉基弘, 明石照久, 中山貴裕, 山口宇唯, 山口整, 福士秀幸, 田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 6   2014年

超並列電子線描画装置用アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価 査読

池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 西野仁, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 6   2014年

超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクスnc-Si面電子源の開発（Ⅳ）

池上尚克, 小島明, 吉田孝, 西野仁, 吉田慎哉, 宮口裕, 室山真徳, 大井英之, 越田信義, 江刺正喜

第61回応用物理学会春季学術講演会   18p-F2-12   2014年

Massively Parallel EB Direct Writing (MPEBDW) System Based on Microelectromechanical System (MEMS)/nc-Si Emitter Array 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Hitoshi Nishino, Masanori Sugata, Sinya Yoshida, Masanori Muroyama, Hideyuki Ohyi, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

2014 Advanced Lithography   904943-1-7   2014年

An SOI Tactile Sensor with a Quad Seesaw Electrode for 3-Axis Complete Differential Detection 査読

Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Motohiro Fujiyoshi, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Masayoshi Esashi

MEMS2014   709 - 712   2014年

次世代リソグラフィ技術へのMEMS応用 – 超並列電子線描画とEUV用フィルタ -

江刺正喜, 越田信義, 小島明, 池上尚克, 吉田孝, 室山真徳, 宮口裕, 西野仁, 鈴木裕輝夫

NGL 2014   1 - 2   2014年

素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発

金子亮介, 吉田慎哉, 室山真徳, 宮口裕, 江刺正喜, 田中秀治

電気学会総合研究会   9 - 14   2014年

A Tactile Sensor Network by MEMS-LSI Integrated Microsystems for Social Robot Applications 査読

M. Muroyama, M. Makihata, Y. Nakano, S. Shuji, M. Esashi

2013 Smart Sensor Workshop   2013年

バス型触覚センサネットワーク用高速シリアルインタフェースの開発 査読

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳宏, 田中秀治, 江刺正喜, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸

第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   5PM3-PSS-45   2013年

LSIをダイアフラムとする集積化触覚センサの作製 査読

小島貴裕, 巻幡光俊, 室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸

第5回「集積化MEMSシンポジウム」   7PM1-E-2   2013年

Development of Maskless Electron-Beam Lithography Using nc-Si Electron-Emitter Array 査読

Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Hitoshi Nishino, Sinya Yoshida, Masanori Sugata, Sabri Cakir, Hideyuki Ohyi, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi

2013 Advanced Lithography V   868001 - 868017   2013年

Integrated MEMS-CMOS LSI Force Sensor for a Super Distributed Artificial Robot Skin

Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Yoshihiro Nakano, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

WPI-AIMR Annual Workshop 2013   2013年

Integrated Tactile Sensor Device

M. Muroyama, M. Makihata, Y. Nakano, T. Kojima, S. Shuji, M. Esashi

Tohoku University AIMR and Fraunhofer ENAS Joint Workshop   2013年

Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS capacitive tactile sensor for robot application using thick BCB isolation layer and backside-grooved electrical connection 査読

M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi

Sensors and Actuators, A: Physical   188   103 - 110   2012年12月

非同期シリアル通信を用いて実装後パラメータ設定可能な集積化触覚センサ用LSI 査読

室山真徳, 中野芳宏, 巻幡光俊, 田中秀治, 山田整, 山口宇唯, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 江刺正喜

集積化MEMSシンポジウム2012   91 - 96   2012年

MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor with Digital Signal Processing for Robot Application 査読

Mitsutoshi Makihata, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Hitoshi Yamada, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Kazuhiro Mima, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Masayoshi Esashi

2012 MRS Spring Meeting   1 - 8   2012年

超並列電子線描画装置システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化

綿屋孝祐, 宮口裕, 室山真徳, 田中秀治, 小島明, 池上尚克, 吉田孝, 江刺正喜

電気学会研究会2012   87 - 92   2012年

MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワークシステムの試作 査読

中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 中山貴裕, 山口宇唯, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

電気学会論文誌E   132 ( 9 )   288 - 295   2012年

CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術 査読

巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳宏, 山田整, 山口宇唯, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜

集積化MEMSシンポジウム2012   85 - 90   2012年

Integration and Packaging Technology of MEMS-on-CMOS Tactile Sensor for Robot Application Using Molded Thick BCB Layer and Backside Grooved Electrical Connection 査読

Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama, Sakae Matsuzaki, Hitoshi Yamada, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Kazuhiro Mima, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Masayoshi Esashi

Transducers 2011   815 - 818   2011年

触覚センサネットワーク評価用システム

中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

次世代センサ研究発表会   1   2011年

Tactile Sensor Network Systems by Interruption Network, Integrated Devices of MEMS and LSI, and Bonding/Sensing/Covering Materials

Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

WPI-AIMR Annual Workshop 2011   2011年

汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作

巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

センサ・マイクロマシン部門総合研究会2011   21 - 25   2011年

集積化触覚センサ開発のための模擬ネットワーク 査読

中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   1 - 6   2011年

Smart and Flexible Tactile Sensor Network Systems by Integrating LSI and MEMS

Masanori Muroyama

WPI-AIMR Annual Workshop 2010   2010年

ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発 査読

室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治, 江刺正喜

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム   126 - 131   2010年

入力信号遷移の振舞いを考慮した階層的低消費電力VLSI設計手法

室山真徳

Information Processing   1210 - 1210   2009年12月

Advanced materials for MEMS

Masayoshi Esashi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama

WPI-AIMR NEWS   6   85 - 95   2009年

ネットワーク型触覚センサのウェハレベル集積化・パッケージング技術 査読

巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜

集積化MEMSシンポジウム2009   19 - 23   2009年

Analysis of Effects of Input Arrival Time Variations on On-Chip Bus Power Consumption 査読

Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura

18th International Workshop on Power and Timing Modeling, Optimization and Simulation (PATMOS 2008)   62 - 71   2009年

負荷変動に瞬時適応可能なマルチパフォーマンスプロセッサの設計と評価

山口 誠一朗, 大山 裕一郎, 国武 勇次, 松村 忠幸, 石飛 百合子, 山口 聖貴, 李 東勲, 金田 裕介, 舟木 敏正, 室山 真徳, 石原亨, 佐藤 寿倫

電子情報通信学会技術研究報告, Vol.107, No.558   1 - 6   2008年

組込みシステムの消費エネルギー削減を目的とした不均一キャッシュアーキテクチャ 査読

山口 誠一朗, 石飛 百合子, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

DAシンポジウム2008   25 - 30   2008年

AMPLE: An adaptive multi-performance processor for low-energy embedded applications 査読

Tohru Ishihara, Seiichiro Yamaguchi, Yuriko Ishitobi, Tadayuki Matsumura, Yuji Kunitake, Yuichiro Oyama, Yusuke Kaneda, Masanori Muroyama, Toshinori Sato

2008 Symposium on Application Specific Processors, SASP 2008   83 - 88   2008年

製造後にタイミング補正可能なオンチップバスアーキテクチャ

山口 聖貴, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, VLD2007-79, DC2007-34(2007-11)   55 - 60   2007年

製造後に性能補償可能なオンチップバスアーキテクチャ

山口 聖貴, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

2007年電気関係学会九州支部連合大会   208   2007年

低消費エネルギーシステムのための適応型マルチパフォーマンスプロセッサ

大山裕一郎, 室山真徳, 石原亨, 佐藤寿倫, 安浦寛人

電子情報通信学会総合大会   SS-P-61   2007年

プロセスばらつきを考慮したSRAMセルの低消費電設計手法

松村 忠幸, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会2007年総合大会   45 - 46   2007年

プロセッサベース組込みシステムの低消費電力化を目的としたクロックゲーティング命令に関する検討

山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会2007年総合大会   108   2007年

プロセッサベース組込みシステムの省エネルギー化を目的としたコード配置手法

石飛 百合子, 石原 亨, 室山 真徳, 安浦 寛人

電子情報通信学会2007年総合大会   S.47 - S.48   2007年

90nmCMOS回路における遅延・電力ばらつきのゲート段数およびゲート幅依存性に関する考察

山口 聖貴, Yuan Yang, 坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, VLD2006-118, ICD2006-209(2007-03)   73 - 78   2007年

CMOS回路におけるタイミング歩留り最大化のためのゲートサイジング手法の提案

坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告 ICD2006-208   67 - 72   2007年

小容量オンチップメモリの有効利用による組込みシステムの低消費エネルギー化

山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

平成19年度電気関係学会九州支部連合大会   207   2007年

マルチタスク組込みアプリケーションの低消費エネルギー化のためのメモリ管理技術

山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, Vol.107, No.334   25 - 29   2007年

Energy management techniques for SOC design 査読

Hiroto Yasuura, Tohru Ishihara, Masanori Muroyama

Essential Issues in SOC Design: Designing Complex Systems-on-Chip   177 - 223   2006年

90nmCMOS回路における遅延および電力ばらつきの実測と解析

山口 聖貴, Yang Yuan, 樽見 幸祐, 坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, VLD2006-13(2006-05)   41 - 46   2006年

A simulation-based soft error estimation methodology for computer systems 査読

Makoto Sugihara, Tohru Ishihara, Koji Hashimoto, Masanori Muroyama

Proceedings - International Symposium on Quality Electronic Design, ISQED   196 - 203   2006年

通信品質を考慮したディジタル無線通信システムの消費エネルギー解析 査読

樽見 幸祐, 室山 真徳, 安浦 寛人

第19回回路とシステム軽井沢ワークショップ   19   223 - 228   2006年

マイクロプロセッサのエネルギー消費特性抽出とソフトウェアデバッガを用いた消費エネルギー見積もり

李 東勲, 石原 亨, 室山 真徳, 安浦 寛人, Farzan Fallah

情報処理学会研究報告, Vol.2006, No.124   109 - 114   2006年

Exploiting Narrow Bitwidth Operations for Low Power Embedded Software Design 査読

Seiichiro Yamaguchi, Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura

13th Workshop on Synthesis and System Integration of Mixed Information Technologies (SASIMI2006)   51 - 56   2006年

Exploiting Narrow Bitwidth Operations for Low Power Embedded Software Optimization 査読

Seiichiro Yamaguchi, Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura

International PhD Student Workshop on SOC   1 - 4   2006年

オペランドのビット幅を考慮したソフトウェアレベル消費エネルギー削減手法

山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, Vol.106, No.31   13 - 18   2006年

通信品質を考慮したディジタル無線通信システムの低消費エネギー化の検討

徳永 将之, 辻本 泰造, 安浦 寛人, 室山 真徳

電子情報通信学会技術研究報告, Vol.106, No.386   7 - 12   2006年

An Energy Characterization Framework for Software-Based Embedded Systems 査読

Donghoon Lee, Tohru Ishihara, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

2006 IEEE/ACM/IFIP Workshop on Embedded Systems for Real Time Multimedia (ESTIMedia2006)   1   59 - 64   2006年

プログラムの動作を考慮したコンピュータシステムのソフトエラー数見積もり技術

杉原 真, 石原 亨, 橋本 浩二, 室山 真徳

情報処理学会研究報告, Vol.2005, No.102   49 - 54   2005年

A Variation-Aware Low-Power Coding Methodology for Tightly Coupled Buses 査読

Masanori Muroyama, Kousuke Tarumi, Koji Makiyama, Hiroto Yasuura

10th Asia South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC2005)   557 - 560   2005年

低演算精度の計算における電力削減手法 査読

山口 誠一朗, 室山 真徳, 樽見 幸祐, 安浦 寛人

DAシンポジウム2005   267 - 272   2005年

Bitwidth optimization for low power digital FIR filter design 査読

Kosuke Tarumi, Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences   E88-A ( 4 )   869 - 875   2005年

An Application Oriented Energy Reduction Technique for Wireless Communications 査読

Kosuke Tarumi, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

7th International Joint Symposium between Chungnam National University and Kyushu University   10 - 13   2005年

CMOSプロセスにおけるゲート遅延ばらつき測定回路の提案

坂本 良太, 室山 真徳, 樽見 幸祐, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, ICD2005-70   19 - 23   2005年

A Power Reduction Scheme for Data Buses by Dynamic Detection of Active Bits 査読

Masanori Muroyama, Akihiko Hyodo, Hiroto Yasuura

IEICE Transactions on Electronics   E87-C ( 4 )   598 - 605   2004年4月

A Power Reduction Technique for an Equalization Circuit Using Adaptive Bitwidth Control 査読

Kousuke Tarumi, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

IEICE Technical Report, CAS2004-16, VLD2004-27, SIP2004-30   37 - 41   2004年

A Design Method for a Low Power Digital FIR Filter in Digital Wireless communication systems 査読

Kousuke Tarumi, Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

The 17th Workshop on Circuits and Systems in Karuizawa   223 - 228   2004年

A Design Method for a Low Power Equalization Circuit by Adaptive Bitwidth Control 査読

Kosuke Tarumi, Masanori Muroyama, Seiichiro Yamaguchi, Hiroto Yasuura

International Symposium on Communications and Information Technologies 2004 (ISCIT2004)   704 - 709   2004年

ディジタル無線通信用ベースバンド処理部における低消費エネルギー化技術

樽見 幸祐, 真島 優輔, 室山 真徳, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告 VLD2004-96, ICD2004-182, DC2004-82   209 - 214   2004年

Energy Efficient Scheduling for Hard Real-Time Tasks on Dynamic Pipeline and Voltage Scaled Processor 査読

Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Kousuke Tarumi, Hiroto Yasuura

6th World Automation Congress (WAC 2004)   285 - 291   2004年

Variable Pipeline Depth Processor for Energy Efficient Systems 査読

Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

Euromicro Symposium on Digital System Design (DSD2003)   481 - 488   2003年

A power reduction scheme for data buses by dynamic detection of active bits 査読

M. Muroyama, A. Hyodo, T. Okuma, H. Yasuura

Proceedings - Euromicro Symposium on Digital System Design, DSD 2003   408 - 415   2003年

Variable Pipeline Depth Processor for Energy Efficient Systems 査読

Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

IEICE Technical Report, VLD2003-10   19 - 24   2003年

アクティブビットを考慮したデータバスの電力削減手法 査読

室山真徳

九州大学修士論文   2002年3月

アクティブビットを考慮したバスの低電力化手法 査読

室山 真徳, 兵頭 章彦, 大隈 孝憲, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, VLD2001, ICD2001   67 - 72   2002年

アクティブビットを考慮した低電力データパス設計手法 査読

室山 真徳, 兵頭 章彦, 大隈 孝憲, 安浦 寛人

電子情報通信学会技術研究報告, VLD2002   1 - 6   2002年

Reducing Access Energy of On-Chip Data Memory Considering Active Data Bitwidth 査読

Takanori Okuma, Yun Cao, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura

International Symposium on Low Power Electronics and Design (ISLPED2002)   88 - 91   2002年

A power minimization technique for arithmetic circuits by cell selection 査読

T. Muroyama, T. Ishihara, A. Hyodo, T. Yasuura

Proceedings - 7th Asia and South Pacific Design Automation Conference, 15th International Conference on VLSI Design, ASP-DAC/VLSI Design 2002   268 - 273   2002年

入力信号パターンを考慮した低電力算術演算回路の設計手法 査読

室山 真徳, 石原 亨, 兵頭 章彦, 安浦 寛人

情報処理学会論文誌   42 ( 4 )   1007 - 1015   2001年4月

特定用途向け高性能低消費電力プロセッサの設計手法の検討

安浦寛人, 兵頭章彦, 室山真徳

平成12年度 特定領域研究シンポジウム「知的瞬時処理複合化集積システム」   155 - 158   2001年

入力信号パターンを考慮した低電力並列乗算器の設計手法 査読

室山真徳, 石原亨, 兵頭章彦, 安浦寛人

DAシンポジウム '00   61 - 66   2000年

スタンダードセルの回路構造が消費電力と遅延に与える影響 査読

室山真徳, 石原亨, 兵頭章彦, 安浦寛人

746   1999年

MEMS-LSI融合技術の触覚センサネットワークへの応用

室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 小島貴裕, 中野芳宏, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 江刺正喜（ 担当： 共著）

インター・ラボ（株）  2014年 

超並列電子線描画装置の開発

江刺正喜, 池上尚克, 小島明, 宮口裕, 西野仁, 越田信義, 吉田孝, 室山真徳, 吉田慎哉（ 担当： 共著）

（株）アグネ技術センター  2013年9月 

組込みシステム設計の基礎

中西 恒夫, 北須賀 輝明, 久住 憲嗣, 室山 真徳, 田頭 茂明（ 担当： 共訳 ,  原著者: Wayne Wolf）

日経BP社  2009年3月 

Essential Issues in SOC Design: Designing Complex Systems-on-Chip

Hiroto Yasuura, Tohru Ishihara, Masanori Muroyama（ 担当： 分担執筆 範囲: Energy Manegement Techniques for SoC Design, Chapter 6）

Springer  2006年10月 

AS-2-5 90nm CMOS回路における遅延及び電力ばらつきの実測(AS-2. ASPLA 90nmを用いたVLSIの研究開発,シンポジウム)

山口 聖貴, Yang Yuan, 樽見 幸祐, 坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人

電子情報通信学会総合大会講演論文集   2006   "S - 23"-"S-24"   2006年3月

プログラムの動作を考慮したコンピュータシステムのソフトエラー数見積もり技術

杉原 真, 石原 亨, 橋本 浩二, 室山 真徳

情報処理学会研究報告システムLSI設計技術（SLDM）   2005 ( 102 )   167 - 172   2005年10月

Dynamic Access Control of Instruction Buses by Using Active Bits Detection for Low Power Systems

Masanori Muroyama, Akihiko Hyodo, Takanori Okuma, Koji Makiyama, Hiroto Yasuura

情報処理学会研究報告システムLSI設計技術（SLDM）   2003 ( 46 )   49 - 54   2003年5月

The Role and Future Vision of MEMS and LSI in the Edge Heavy Era -エッジヘビー時代のＭＥＭＳとＬＳＩの役割と未来展望- 招待

室山真徳

SEMICON Japan 2018 STS MEMS・センサセッション  2018年 

エッジヘビーセンシング～AI向け触覚＋αセンサプラットフォーム～

室山真徳, 田中秀治, 平野栄樹

東北大学Tech Open2018（ビジネスプランコンテスト）  2018年 

MEMSとLSIと実装とを極めた先に広がるエッジヘビーセンシングの世界の可能性 招待

室山真徳

JFlex：身体と機械をつなぐ「人間拡張技術」  2019年 

エッジヘビー時代へ向けたMEMSとLSIの役割と未来展望 招待

室山真徳

日本学術振興会シリコン超集積システム第165委員会 第93回研究会  2019年 

Versatile Applications of Sensor Platform LSIs: From MEMS-Based Robotic Tactile Networks to Human Motion Sensing in a Super-Aging Society 招待

Masanori Muroyama

16th Fraunhofer Symposium in Sendai  2025年12月 

Transformer-Based Robust Tactile Object Recognition under Sensor Faults through Training, Adaptation, and Correction

Masanori Muroyama

2026 IEEE/SICE International Symposium on System Integration (SII2026)  2026年1月 

Applications of Dedicated Sensor Platform LSIs to MEMS-Based Tactile Sensor Networks for Robotics and to Human Finger Motion Sensing 招待

Masanori Muroyama

The 16th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS  2025年7月 

宮城県との連携のすゝめ～スタートアップ→海外展開→日本展開～

室山真徳

宮城県国際企画課×東北大情報交換会  2019年 

海外武者修行報告会：（株）レイセンス，東北大学 招待

室山真徳

EDGE-NEXTシンポジウム2021 in 東海  2021年6月 

密な時間と空間でのセンサ活用を描く「エッジヘビーセンシング構想」～次世代ロボットと人間拡張技術への応用～ 招待

室山真徳

Smart Sensing ONLINE セミナー  2020年 

第3 次人工感覚器の時代を創る！“ ふれる” をデジタル化して広がる次世代ヘルスケアの提案

室山真徳

LINK-J × 東北大学ネットワーキング・ナイト 大学発のヘルスケアビジネス創出を目指して！－東北大学が描くヘルスケア・イノベーション  2019年 

エッジヘビーセンシングの取組み：第3次感覚革命→人工皮膚感覚革命

室山真徳

東北大学COI・EDGE-NEXT×早稲田大学COI・EDGE-NEXTワークショップ  2019年 

MEMSとLSIをコア技術とした人工知能時代向きエッジヘビーセンシングの提案

室山真徳

JSTさきがけ「社会と調和した情報基盤技術の構築」東北大学サイトビジット  2019年 

MEMSとLSIをコア技術とした人工知能時代向きエッジヘビーセンシング

室山真徳

COI東北拠点若手情報交換会  2019年 

触覚センサネットワークなどのエッジセンシングでどのような未来を創りだせるか？～産産学連携の研究開発からスタートアップ設立による社会実装を基に～

室山真徳

COI学術交流会  2022年2月 

MEMS-LSI 集積化触覚センサネットワークシステムとそのビジネス応用の可能性，Transducers2021・参加報告 招待

室山真徳

有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 第41 回定例会  2021年9月 

次世代ロボット・人間拡張分野におけるセンサ活用・価値創造 招待

室山真徳

Smart Sensing 2021イノベーションサミット、Keynote講演  2021年10月 

MEMS-LSI集積化触覚センサネットワークシステムとエッジヘビーセン シングへの展開 招待

室山真徳

応用物理学会 2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会，センサ融合に向けたセンサ集積技術  2021年9月 

センサから始まる次世代ロボット・人間拡張技術の研究開発 招待

室山真徳

Smart Sensing ONLINE  2021年7月 

触覚センサ等ロボット応用とLSI 招待

室山真徳

第19回MEMS集中講義  2021年8月 

第3次人工感覚器の時代を創る！“ふれる”をデジタル化して広がる新しいサービスの提案 招待

室山真徳

イノベーション促進プログラムACT1  2019年 

大規模デジタル回路設計における見積りミス 招待

室山真徳

VDECデザイナーズ・フォーラム2008 ショート講演  2008年 

試作チップ評価

室山真徳

九州大学システムLSI設計人材養成実践プログラム （QUBE）  2008年 

試作チップ評価

室山真徳

九州大学システムLSI設計人材養成実践プログラム （QUBE）  2007年 

デジタル回路講座I,II

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2007年 

Microsystem Integration by MEMS and LSI Technologies for Human Support Robots and Other Applications 招待

Masanori Muroyama

The 8th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2014)  2014年 

MEMS用LSI

室山真徳

2014年MEMS集中講義  2014年 

次世代生活支援ロボットのための触覚センサネットワークシステム 招待

室山真徳

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（µSIC）シンポジウム2014  2014年 

Integrated Tactile Sensor Device 招待

Masanori Muroyama

WPI-AIMR and Fraunhofer ENAS Joint Workshop on Micro Integrated Devices  2013年 

A Tactile Sensor Network by MEMS-LSI Integrated Microsystems for Social Robot Applications 招待

Masanori Muroyama

2013 Smart Sensor Workshop  2013年 

触覚センサネットワーク – MEMSとLSIの集積化デバイスによるロボットボディエリアネットワーク – 招待

室山真徳

東北大学マイクロシステム融合研究会  2012年 

System Design and Development Using MEMS-LSI Integrated Devices 招待

Masanori Muroyama

IMEC internal seminar  2012年 

Emerging Application Examples of Integration of MEMS and CMOS-LSI 招待

Masanori Muroyama

Tohoku – IMEC Seminar 2014  2014年 

Microsystem Integration by MEMS and LSI Technologies for Smart and Secure Human Support Robots and Other Applicatoins 招待

Masanori Muroyama

10th Fraunhofer Symposium in Sendai  2014年 

集積化アクティブマトリックス式超並列電子源デバイス用LSI 招待

室山真徳

最先端研究開発支援プログラム 「マイクロシステム融合研究開発」 第20回研究会  2013年 

Tactile Sensor Network System with CMOS-MEMS Integration for Social Robot Applications 招待

Masanori Muroyama

Smart Systems Integration 2014  2014年 

革新的な次世代ロボットセンサシステムを実現するマルチセンサプラットフォーム 招待

室山真徳

H29年度 第2回信州MEMS研究会  2017年 

MEMS-LSI集積化とシステム実装が可能にするエッジヘビーセンシング 招待

室山真徳

第24回シンポジウム「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」～革新的なものづくりへの挑戦～ mate2018  2018年 

MEMSとLSIのシステム集積化

室山真徳

2016年MEMSエンジニア育成のための集中コース in 仙台  2016年 

次世代ロボットと肌感覚センサ 招待

室山真徳

みやぎ高度電子機械人材育成センター研修 特別講演  2017年 

MEMSとLSIの融合～LSI設計者の視点から～ 招待

室山真徳

H27年度 第二回信州MEMS研究会  2015年 

ロボット全身分布型マルチセンサネットワークシステムとその活用 招待

室山真徳

11th Beyond^x Robotics 研究会 in Sendai  2016年 

A MEMS-CMOS Technology Based Tactile Sensor Network System 招待

Masanori Muroyama

The 6th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015  2015年 

MEMS用LSI

室山真徳

2015年MEMS集中講義  2015年 

MEMSセンサの紹介とロボット応用への具体的事例 招待

室山真徳

神奈川県産業技術センター内セミナー  2016年 

Microsystem Integration Technologies for the Next Generation Robot Tactile Systems and Platform CMOS-LSIs 招待

Masanori Muroyama

The Taiwan and Japan International Exchange Symposium (co-organized by “The Institute of Electrical Engineers of Japan” and “The Study Group of Integrated MEMS Technology, The Japan Society of Applied Physics”)  2016年 

ロボットへの皮膚感覚実現～エッジヘビーセンシングへの展開～ 招待

室山真徳

宮城県国際投資セミナー～Invest Miyagi Seminar～  2018年 

通信機能とセンサを組込んだ小型デバイスとその応用～触覚センサとエッジヘビーセンシング構想～ 招待

室山真徳

「フレキシブル エネルギー デバイス コンソーシアム」平成30年度第4回講演会  2019年 

エッジ時代をリードするためのMEMSとLSIとは～次世代ロボット用集積化触覚センサシステムの例～ 招待

室山真徳

SEMICON Japan 2018 出展者ブースセミナー  2018年 

無機集積化デバイスと有機エレクトロニクスの融合による人工知能向けエッジヘビーセンシングの可能性 招待

室山真徳

山形大学 第153回 有機エレクトロニクス研究センター講演会  2018年 

MEMS-LSI集積化による 高性能触覚センサモジュールの実現と 人工知能時代のエッジヘビーセンシング構想 招待

室山真徳

BIP Meets BUSINESS 求むビジネスパートナー～東北大学シーズマッチング～  2018年 

MEMS-LSI集積化による 触覚センサモジュールの実現と エッジヘビーセンシング構想 招待

室山真徳

先端技術交流会  2018年 

はじめてのプログラミング 招待

室山真徳

仙台市立小学校において小学2年生を対象とした授業（3コマ）  2018年 

エッジヘビー時代が来る！それはMEMSとLSIが活きる時代 招待

室山真徳

ナノテクノロジーセミナー －有機半導体とＭＥＭＳデバイスの最前線、ナノテクの新用途展開に向けてー  2018年 

ロボット用触覚センサモジュール・システムの技術開発と事業性検証

室山真徳, 田中秀治, 平野栄樹

BIP Meets Business 求むビジネスパートナー～東北大学シーズマッチング～  2019年 

次世代ロボットのための高性能センサプラットフォームの開発～エッジヘビーセンシングへの展開～ 招待

室山真徳

計測自動制御学会SI部門マニピュレーション部会講演会  2019年 

MEMSとLSIをコア技術としたエッジヘビーセンシングの提案 招待

室山真徳

東京工業大学 岡田健一研究室内セミナー  2019年 

MEMSとLSIがエッジのリアルを明らかにする！エッジヘビーセンシングが拓く未来 招待

室山真徳

Smart Sensing 2019 （電子機器2019 トータルソリューション展） Smart Sensing 2019 Innovation Summit, 企業プレゼンテーション  2019年 

MEMSとは？基本から今後のビジネスまでを俯瞰してみよう 招待

室山真徳

マシンインテリジェンス研究会（MITOOS）第12回情報交換会  2019年 

次世代ロボットのためのMEMSとLSIによる人工皮膚感覚実現と未来展望 招待

室山真徳

平成30年度MEMSマッチングフォーラム〔ロボット×触覚センサ〕  2019年 

Edge Heavy Sensing Framework Based on MEMS and LSI Technologies in the AI Era 招待

Masanori Muroyama

AWSSS2019 (Asian Workshop on Smart Sensors and Systems 2019)  2019年 

Proposal and Social Implementation of Edge Heavy Sensing Framework Based on Microtechnology in the AI Era 招待

Masanori Muroyama

13th Fraunhofer Symposium in Sendai  2019年 

Realization of Tactile Sensation for Robots – Toward Edge Heavy Sensing World - 招待

Masanori Muroyama

The 1st EU-Japan Nanotech Matchmaking Event in Miyagi  2019年 

試作チップ評価

室山真徳

九州大学システムLSI設計人材養成実践プログラム （QUBE）  2006年 

SPICEを用いたアナログ回路演習

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2005年 

試作チップ評価

室山真徳

九州大学システムLSI設計人材養成実践プログラム （QUBE）  2009年 

デジタル回路講座I,II

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2009年 

MEMS とLSI の融合：LSI 設計者の視点から 招待

室山真徳

第３回集積化MEMS技術研究会  2009年 

デジタル回路講座I,II

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2006年 

SPICEを用いたアナログ回路演習

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2007年 

SPICEを用いたアナログ回路演習

室山真徳

福岡システムLSIカレッジ  2006年 

人の作用・動作解析のための専用センサグローブシステムの開発とデータ解析

郷古翼, 横山颯汰, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会  2025年3月 

作業状況把握のための多種センサを統合した多関節制御可能な双腕ロボットの開発

佐々木海人, 吉田航大, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会  2025年3月 

3Dビジョンセンサとセンサグローブによるゴルフスイングのマルチモーダル解析に関する研究

和知龍祥, 室山真徳

令和7年東北地区若手研究者発表会  2025年3月