-
Transformer-Based Robust Tactile Object Recognition under Sensor Faults through Training, Adaptation, and Correction
Reviewed
Masanori Muroyama
2026 IEEE/SICE International Symposium on System Integration (SII2026)
2026.1
-
イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイシステムを用いた物体判定
Reviewed
室山真徳, 田中秀治
電気学会論文誌E部門
2023.7
-
Surface Covering Structure and Active Sensing with MEMS-CMOS Integrated 3-Axis Tactile Sensors for Object Slip Detection and Texture Recognition
Reviewed
Sumeyya Javaid, Hideki Hirano, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama
THE 21st INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE SENSORS, ACTUATORS AND MICROSYSTEMS (Transducers 2021)
2021.6
-
Event-Driven Tactile Sensing System Including 100 CMOS-MEMS Integrated 3-Axis Force Sensors Based on Asynchronous Serial Bus Communication
Reviewed
Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Hiroshi Miyaguchi, Munetaka Nomoto, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
IEEE Sensors Journal
20
(
17
)
10159
-
10169
2020.9
-
Development of a Real-Time Force and Temperature Sensing System with MEMS-LSI Integrated Tactile Sensors for Next-Generation Robots
Reviewed
Masanori Muroyama, Hideki Hirano, Chenzhong Shao, Shuji Tanaka
Journal of Robotics and Mechatronics
32
(
2
)
323
-
332
2020.4
-
MEMSとLSIをコアとしたエッジヘビーセンシング、科学技術未来戦略ワークショップ報告書【多様なデータの取得・統合処理を可能にするセンサ融合基盤技術～センシング情報の高付加価値化に向けて～】
Invited
室山真徳
JST CRDS報告書
76
-
82
2020.3
-
Design and Fabrication Technology of Low Profile Tactile Sensor with Digital Interface for Whole Body Robot Skin
Reviewed
Mitsutoshi Makihata, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Masayoshi Esashi
Sensors 2018
18
(
7
)
1
-
14
2018.7
-
MEMS-LSI集積化とシステム実装が可能にするエッジヘビーセンシング
Invited
室山真徳
第24回シンポジウム「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」
31
-
36
2018
-
3-Axis Fully-Integrated Capacitive Tactile Sensor with Flip-Bonded CMOS on LTCC Interposer
Reviewed
Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka
Sensors 2017
17
(
11
)
1
-
14
2017.10
-
A Tactile Sensor Network System Using a Multiple Sensor Platform with a Dedicated CMOS-LSI for Robot Applications
Reviewed
Chenzhong Shao, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutanaka Nonomura, Masanori Muroyama
Sensors 2017
17
(
9
)
1
-
13
2017.8
-
Multi-sensor platform LSI enabling different sensors to be event-driven and connected to common differental bus line
Reviewed
Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka
TRANSDUCERS 2017 - 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
1156
-
1159
2017.7
-
CMOS-on-LTCC Integrated Fingertip Sensor with 3-Axis Tactile and Thermal Sensation for Robots
Reviewed
Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka
Transducers 2017
516
-
519
2017
-
Surface-Mountable Capacitive Tactile Sensors with Flipped CMOS-Diaphragm on a Flexible and Stretchable Bus Line
Reviewed
Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka
Sensors and Actuators A
240
167
-
176
2016.2
-
A CMOS-LSI for a Sensor Network Platform of Social Robot Applications
Reviewed
Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Travis Bartley, Shuji Tanaka
Smart Systems Integration 2016
320
-
327
2016
-
Delay Window Blind Oversampling Clock and Data Recovery Algorithm with Wide Tracking Range
Reviewed
Travis Bartley, Shuji Tanaka, Yutaka Nonomura, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama
ISCAS 2015
1598
-
1601
2015
-
Tactile Sensor Network System with CMOS-MEMS Integration for Social Robot Applications
Reviewed
Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Takahiro Kojima, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Yoshiyuki Hata, Masayoshi Esashi
Smart Systems Integration 2014
181
-
188
2014
-
A 1.7mm3 MEMS-on-CMOS tactile sensor using human-inspired autonomous common bus communication
Reviewed
M. Makihata, M. Muroyama, Y. Nakano, S. Tanaka, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, H. Funabashi, Y. Hata, M. Esashi
2013 Transducers and Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS and EUROSENSORS 2013
2729
-
2732
2013
-
Development of an LSI for tactile sensor systems on the whole-body of robots
Reviewed
Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Yoshihiro Nakano, Sakae Matsuzaki, Hitoshi Yamada, Ui Yamaguchi, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
131
(
8
)
302
-
309
2011
-
Hierarchical Low-Power VLSI Design Techniques Considering Input Signal Transition Behavior
Reviewed
2008.1
-
ウェアラブルセンサに向けた慣性センサと曲げセンサを用いたカルマンフィルタによる姿勢角検知
大西 伶哉, 室山 真徳, 畑 良幸
磁気センサ・各種センサシステム及びアクチュエータの基礎と応用
2025.12
-
感覚センサ統合型ロボットハンドリングの要素技術に関する研究
室山真徳, 宮田唯統, 郷古翼, 横山颯汰, 佐々木海人, 吉田航大, 和知龍祥
東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要 EOS
38
(
1
)
35
-
40
2025.12
-
把持力・指動作・身体軌道センシングシステムによるゴルフスイングの視覚化基盤の構築
Reviewed
室山 真徳, 宮田 唯統, 高橋 大智, 大川 優, 和知 龍祥
第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
1
-
2
2025.11
-
多点検知とデータ輻輳の抑制を両立するPID式データ量制御機能をともなったイベントドリブン型センシングシステム
Reviewed
野間 駿介, 室山 真徳, 畑 良幸
第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
1
-
5
2025.11
-
センサグローブを用いた握手動作の検出とマッキンベン型人工筋肉による仮想握手再現システムの開発
Reviewed
宮田 唯統, 室山 真徳
第42回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
1
-
6
2025.11
-
DEMONSTRATION OF >30K-CYCLE STABILITY OF A PRINTEDCIRCUIT-BOARD-BASED NETWORK TACTILE SENSOR WITH EMBEDDED SENSOR PLATFORM LSI
Reviewed
Jorge E. López, Masanori Muroyama, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka
Transducers 2025
1653
-
1656
2025.7
-
作業状況把握のための多種センサを統合した多関節制御可能な双腕ロボットの開発
佐々木海人, 吉田航大, 室山真徳
令和7年東北地区若手研究者発表会
215
-
216
2025.3
-
3Dビジョンセンサとセンサグローブによるゴルフスイングのマルチモーダル解析に関する研究
和知龍祥, 室山真徳
令和7年東北地区若手研究者発表会
217
-
218
2025.3
-
マッキンベン型人工筋肉を用いた握手提示のための力センシングに基づくフィードバック制御システムの基礎研究
Reviewed
宮田唯統, 鈴木敬太, 鎌田隆杜, 室山真徳
情報処理学会インタラクション2025
562
-
566
2025.3
-
の作用・動作解析のための専用センサグローブシステムの開発とデータ解析
郷古翼, 横山颯汰, 室山真徳
令和7年東北地区若手研究者発表会
75
-
76
2025.3
-
マルチモーダルセンシングによる遠隔ロボット操作を実現するための要素技術の研究開発
室山真徳, 髙橋隼, 熊谷晃成, 清野真生, 戸田翔也, 小山内勇貴, 冨澤誠斗, 鈴木敬太, 鎌田隆杜
東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要 EOS
37
(
1
)
17
-
22
2025.2
-
イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイの開発と応用展開
室山真徳
車載テクノロジー
12
(
4
)
52
-
56
2025.1
-
力・曲げセンサを備えたセンサグローブから得られる時系列動作データによる行動分類機械学習技術の開発
Reviewed
室山 真徳, 畑 良幸
第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
26A3-PS-26
1
-
6
2024.11
-
PCB-based Single-axis Capacitive Tactile Sensor with Embedded Sensor Platform LSI
Reviewed
Lopez Jorge, Muroyama Masanori, Tsukamoto Takashiro, Tanaka Shuji
第41回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
25P4-PS-99
1
-
2
2024.11
-
スモール時系列センシングデータを用いた高性能エッジ機械学習システムの研究開発
Reviewed
室山 真徳,斎藤 泰知,小原 龍輝,齋藤 昂生,阿部 太一,阿部 秀彦,大塚 亮平,阿部 慎之介,小田 龍哉,齋藤 栄騎
東北工業大学地域連携センター／研究支援センター紀要EOS
2024・3 VOL.36
(
1
)
9
-
14
2024.3
-
Object judgment with an event‐driven MEMS‐LSI integrated tactile sensor array system
Reviewed
Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
Translated from Volume 143 Number 7, pages 164–170, DOI: 10.1541/ieejsmas.143.164 of IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (Denki Gakkai Ronbunshi E).
143
(
7
)
164
-
170
2023.8
-
力と曲げデータが取得可能なセンサグローブの開発とその応用
阿部太一, 阿部秀彦, 室山真徳
令和５年東北地区若手研究者発表研究会
2023.3
-
曲げセンサデータを用いた手の作業習熟に関する動作解析
大塚亮平, 阿部慎之介, 室山真徳
令和５年東北地区若手研究者発表研究会
2023.3
-
静電容量型センサを用いたテクスチャセンシングに関する一考察
齋藤昂生, 室山真徳
令和５年東北地区若手研究者発表研究会
2023.3
-
振動提示フィードバックシステムの検討
小田龍哉, 室山真徳
令和５年東北地区若手研究者発表研究会
2023.3
-
エッジ推論デバイスのセンシング性能評価に関する考察
齋藤栄騎, 室山真徳
令和５年東北地区若手研究者発表研究会
2023.3
-
エネルギー消費に着目した指曲げ動作の解析
室山真徳, 齋藤翔馬
令和５年電気学会全国大会
2023.3
-
遠隔ロボット操作技術のインタラクション性能向上に関する検討
Reviewed
東北工業大学地域連携センター・研究支援センター紀要（EOS）
35
(
1
)
33
-
38
2023.1
-
Magnetic Foam as Potential Tactile Sensor
Reviewed
Gildas Digue, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka
7th International Conference on Advances in Functional Materials
2023.1
-
MEMS-LSI集積化触覚センサを用いたアクティブセンシングによるテクスチャ分類に関する研究
Reviewed
齋藤昂生, 田中秀治, 室山真徳
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2022.11
-
イベントドリブン型MEMS-LSI集積化触覚センサアレイシステムと機械学習による物体識別の検討
Reviewed
室山真徳, 田中秀治
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2022.11
-
Magnetic properties of Fe–Si–B thin films and their application as stress sensors
Gildas Diguet, Kei Makabe, Joerg Froemel, Hiroki Kurita, Fumio Narita, Masanori Muroyama
Thin Solid Films
758
139428
-
139428
2022.9
-
A Basic Study of Texture Classification by Active Sensing Using a MEMS-LSI Integrated Tactile Sensor
Takao Saitou, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama
The 13th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2022
2022.9
-
Touch Sensor Based on Highly Compressive Magnetic Foam Composite
Gildas Diguet, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka
2022 Smart Systems Integration (SSI)
2022.4
-
Stress Impedance Effect MEMS Sensors with Very High Gauge Factor
Reviewed
Joerg Froemel, Gildas Digue, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka
Smart Systems Integration Conference and Exhibition
2022.4
-
人体装着型外骨格デバイスにより操縦可能なロボットアームの作製と評価に関する研究
佐々田一歩, 阿部樹, 室山真徳
令和4年東北地区若手研究者発表会
147
-
148
2022.2
-
遠隔操作ロボットを用いた遠隔作業タスクの評価に関する研究
赤間雅規, 小山颯太, 室山真徳
令和4年東北地区若手研究者発表会
249
-
250
2022.2
-
テクスチャセンシングとテクスチャ再現提示に関する研究
佐藤直之, 室山真徳
令和4年東北地区若手研究者発表会
251
-
252
2022.2
-
指の曲げに関するセンシングデータを取得可能なセンサグローブによる動作識別の検討
齋藤翔馬, 室山真徳
令和4年東北地区若手研究者発表会
253
-
254
2022.2
-
Tactile Sensing Using Magnetic Foam
Reviewed
Gildas Diguet, Joerg Froemel, Masanori Muroyama, Koichi Ohtaka
Polymers
14
(
834
)
1
-
11
2022.2
-
Research and Development of Motion Interface in the Era of New Normal
Masanori Muroyama, Mitsuki Onodera, Jun Kimura, Yuki Takahashi, Kenshi Nishimura, Takao Saitou, Yuta Satake
34
(
1
)
1
-
9
2021.11
-
Micromechanical Force Sensor Using the Stress–Impedance Effect of Soft Magnetic FeCuNbSiB
Reviewed
Joerg Froemel, Gildas Diguet, Masanori Muroyama
Sensors
22
(
21
)
1
-
16
2021.11
-
Magnetic Properties of FeSiB for Sensing Application
Reviewed
Gildas Diguet, Kei Makabe, Joerg Froemel, Hiroki Kurita, Fumio Narita, Masanori Muroyama
Eighteenth International Conference on Flow Dynamics
140
-
141
2021.10
-
センサプラットフォームLSIを基にしたマルチセンシングシステムを構築するためのアプリケーションプログラミングインタフェースの開発
Reviewed
室山真徳, 田中秀治
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2021.10
-
MEMS-LSI 集積化触覚センサネットワークシステムとそのビジネス応用の可能性，Transducers2021・参加報告
Invited
室山真徳
有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 第41 回定例会【概要集】
2021.9
-
MEMS-LSI集積化触覚センサネットワークシステムとエッジヘビーセン シングへの展開
Invited
室山真徳
応用物理学会 2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会，センサ融合に向けたセンサ集積技術，【概要】
2021.9
-
Moment detection by integrated tactile sensors for partner robot applications
Motohiro Fujiyoshi, Yoshiyuki Hata, Kazuhiro Mima, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama
Electrical Engineering in Japan (English translation of Denki Gakkai Ronbunshi)
214
(
2
)
2021.6
-
Development of an Application Programming Interface for a Multi-Sensing System Based on Sensor Platform LSIs
Reviewed
Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
2021 6th International Conference on Business and Industrial Research (ICBIR 2021)
109
-
112
2021.5
-
曲げセンサを用いたマスタースレーブ操作型外骨格デバイスの試作と評価
佐竹佑太, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
151
-
152
2021.3
-
グローブ型モーションセンシングシステムによる人の動作把握の可能性検討
高橋優樹, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
145
-
146
2021.3
-
VRを用いた立体直描による個人の身体形状を考慮した装着型デバイスの形状設計方法の開発と評価
西村健志, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
147
-
148
2021.3
-
臨場感向上のためのレゾナントデバイスを用いた触覚提示法の開発
小野寺充喜, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
141
-
142
2021.3
-
現実の触覚刺激と擬似視覚提示との関係性を調査するための環境構築
木村純, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
143
-
144
2021.3
-
集積化触覚センサを用いたアクティブセンシングによるテクスチャ識別の検討
齋藤昂生, 田中秀治, 室山真徳
令和3年東北地区若手研究者発表会
149
-
150
2021.3
-
Slip Detection by MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor with Surface Covering Structure
Reviewed
Javaid Sumeyya, Hideki Hirano, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama
26P2-SS2-4
1
-
6
2020.10
-
Fabrication and Characterization of Surface Covering Structures with MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor toward Practical Robot Applications
Sumeyya Javaid, Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
MSS-20-25
25
-
29
2020.7
-
センサ・プラットフォームLSIを用いた近接・触覚センサモジュール開発とロボット実装
野本宗鷹, 宮口裕, 邵晨鐘, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治
令和2年電気学会全国大会
203
2020.3
-
ロボット指実装用温力感センサヘッド設計のためのFEM熱解析
Reviewed
大橋祐也, 森遼雅, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村裕
令和2年電気学会全国大会
217
2020.3
-
Heat Flow Measurement by Force and Thermal Sensor Stick with Nerve-net LSI Chip
Reviewed
Hayato Tsuchiya, Yusuke Suganuma, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura
IEEJ Transaction on Sensors and Micromachines
139
(
8
)
258
-
264
2019.8
-
Friction Measurement and Feeling Evaluation of Fabrics Classified by Sensual Expressions
Reviewed
Ibuki Mishima, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
139
(
5
)
114
-
120
2019.5
-
Development of A Serial Bus Rerouting System with Real-Time Failure Detection and Reconstruction for Event-Driven Sensor Network Systems
Reviewed
Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Motohiro Fujiyoshi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
3
2019
-
パートナーロボットへの応用を目指した集積化力覚センサによるモーメント検知
Reviewed
藤吉基弘, 畑良幸, 美馬一博, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治, 中山貴裕
第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
4
2019
-
HW/SW協調型エッジヘビーセンシングの実現と社会実装への挑戦
室山真徳
第2回COI学会
O24
2019
-
Tactile Sensing System Module with Multiple CMOS-MEMS Integrated Sensors on 16Mbps High Speed Shared Serial Bus Line
Reviewed
Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Munetaka Nomoto, Hiroshi Miyaguchi, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Motohiro Fujiyoshi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
Transducers 2019
562
-
565
2019
-
小型熱流センサによる熱流計測と素材との関係
樋口創太, 大橋裕也, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村 裕
平成31年電気学会全国大会
3-167
2019
-
温力感センサヘッド設計のためのFEM熱解析
大橋祐也, 土屋駿斗, 室山真徳, 野々村 裕
平成31年電気学会全国大会
3-179
2019
-
神経網型センシングシステムの無線化と応用についての提案
尾關涼哉, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村 裕
平成31年電気学会全国大会
3-158
2019
-
Proposal of Wireless Nerve-net Sensing System
Reviewed
Ryouya Oeki, Yusuke Suganuma, Tomomi Mizutani, Kohei Suzuki, Shouta Ito, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura
The 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS2019)
73
-
77
2019
-
A CMOS-MEMS Integrated Tactile Sensor Module and Its System Evaluation for Robot Applications
Reviewed
Chenzhong Shao, Hideki Hirano, Munetaka Nomoto, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
JCK MEMS/NEMS 2019 (the 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2019)
49
-
50
2019
-
神経網型センシングシステムにおけるデータ通信の開発
伊藤翔太, 鈴木康平, 菅沼雄介, 土屋駿斗, 尾關涼哉, 室山真徳, 野々村裕
令和元年度E部門総合研究会
MSS-19-029
2019
-
Deep Through Silicon Via in Laser-Ablated CMOS Multi-Project Wafer for Surface-Mountable Integrated MEMS
Reviewed
Yukio Suzuki, Hideki Hirano, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
SSI 2019 (Smart Systems Integration 2019)
177
-
180
2019
-
Integrated 3-Axis Tactile Sensor Using Quad-Seesaw-Electrode Structure on Platform LSI with Through Silicon Vias
Reviewed
Yoshiyuki Hata, Yukio Suzuki, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yoshiteru Omura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka
Sensors and Actuators A
273
30
-
41
2018.2
-
Autocorrelation-Based Randomness Test of Sequence of Data Packets Sent by 16 Interface LSIs with Autonomous Operation
Reviewed
Chenzhong Shao, Hiroshi Miyaguchi, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
第10回集積化MEMSシンポジウム
1
-
5
2018
-
Heat Flow Measurement by a Force and Thermal Sensor Stick for Robots with a Nerve-Net LSI Chip
Reviewed
Hayato Tsuchiya, Keito Oshima, Yusuke Suganuma, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura
Eurosensors 2018
1
-
5
2018
-
Analysis of Event-Driven Operation of Serial Bus Network Type Multi-Sensor Platform Based on Configurable Interface LSI
Reviewed
Chenzhong Shao, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
JCK MEMS/NEMS 2018 (The 9th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS)
67
-
68
2018
-
温力感センサスティックの提案と試作
土屋駿斗, 大島慧斗, 室山真徳, 野々村裕
平成30年電気学会全国大会
224
2018
-
Physical Characteristics and Sensual Expressions on Fabrics
Reviewed
Ibuki Mishima, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura
APCOT 2018
1
-
2
2018
-
温感センシングシステムによる睡眠時の体表面温度測定
柴尾純, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村裕
平成30年電気学会全国大会
238
2018
-
Connection OF 48 Sensors on The Same Serial Bus Line for Human Inspired Event Driven Tactile Sensation Covering Wide Spatial Range over 2 Meters at Millimeter Resolution
Reviewed
Chenzhong Shao, Sho Asano, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka
MEMS 2018
866
-
869
2018
-
センサ・プラットフォームLSIを利用したイベントドリブン型ネットワークシステムの信号衝突と消費電力の解析
Reviewed
野本宗鷹, 邵晨鐘, 宮口裕, 中山貴裕, 田中秀治, 室山真徳
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
(
5
)
2018
-
レーザー消去された0.13µm CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへのTSV加工
Reviewed
鈴木裕輝夫, 畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 平野栄樹, 室山真徳, 田中秀治
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
4
2018
-
有限要素法によるロボット用温力感センサヘッドの熱解析
大橋 祐也, 土屋 駿斗, 室山 真徳, 野々村 裕
フィジカルセンサ研究会
21
-
24
2018
-
センサ・プラットフォームLSIを組込んだ集積化指先センサにおける力と温度の同時センシングシステム
Reviewed
室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 藤吉基弘, 田中秀治
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
4
2018
-
触覚神経網チップを用いた温力感センサスティックによる熱流測定
Reviewed
土屋駿斗, 大島慧斗, 菅沼雄介, 室山真徳, 野々村裕
第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
4
2018
-
Quad-Seesaw-Electrode Type 3-Axis Tactile Sensor with Low Nonlinearities and Low Cross-Axis Sensitivities
Reviewed
Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Motohiro Fujiyoshi, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka
Sensors and Actuators A
266
24
-
35
2017.9
-
300 μm Deep through silicon via in laser-ablated CMOS multi-project wafer for cost-effective development of integrated MEMS
Reviewed
Yukio Suzuki, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Yoshiyuki Hata, Takahiro Nakayama, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Shuji Tanaka
Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
744
-
748
2017.2
-
マルチセンサ・プラットフォームLSIを用いた複数物理量の測定システム
Reviewed
室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 田中秀治
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
4
2017
-
センサプラットフォームLSIと貫通配線LTCC基板を用いた集積化指先センサの作製とアクティブセンシングによる材料識別の実証
Reviewed
浅野翔, 室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 田中秀治
第9回集積化MEMSシンポジウム
1
-
4
2017
-
マルチカラム超並列電子線直接描画装置のための小型電子光学系シミュレーションと電子源開発の状況
小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田孝, 須田隆太郎, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義
応用物理学会 次世代リソグラフィ技術研究会（NGL2017）
18
2017
-
布地の摩擦計測と摩擦感評価との関係
Reviewed
三島伊吹, 井上祐輔, 八幡拓真, 中山貴裕, 室山真徳, 野々村裕
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
4
2017
-
20 Milliwatt Class Ultralow Power Integrated OCXO Using Polyimide and Thin Film Metal Connection Suspended in Vacuum Packaging
Reviewed
Takanori Suzuki, Masanori Muroyama, Tomoyuki Taira, Noritoshi Kimura, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka
Transducers 2017
435
-
438
2017
-
Fully-Integrated, Fully-Differential 3-Axis Tactile Sensor on Platform LSI with TSV-Based Surface-Mountable Structure
Reviewed
Yoshiyuki Hata, Yukio Suzuki, Masanori Muroyama, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Rakesh Chand, Hideki Hirano, Yoshiteru Omura, Motohiro Fujiyoshi, Shuji Tanaka
Transducers 2017
500
-
503
2017
-
Simulation Analysis of a Miniaturized Electron Optics of the Massively Parallel Electron-Beam Direct-Write (MPEBDW) for Multi-Column System
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Ryutaro Suda, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida
SPIE 2017
1
-
2
2017
-
Serial Communication Performance of Networked Sensor Platform LSIs with Differential Signaling for Multi-Sensor System Implementation
Reviewed
Chenzhong Shao, Shuji Tanaka, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama
第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
2
2017
-
摩擦感テスタによる布地の計測と官能評価
三島伊吹, 井上祐輔, 八幡拓真, 中山貴裕, 室山真徳, 野々村裕
平成29年電気学会全国大会
202
2017
-
神経網型センシングシステム用LSIチップを用いたロボット用温力感センサヘッドの試作
土屋駿斗, Shao Chenzhong, 新海拓哉, 中山貴裕, 平野栄樹, 田中秀治, 室山真徳, 野々村裕
平成29年電気学会フィジカルセンサ研究会
25
-
28
2017
-
Cu Thin Film Polyimide Heater for Nerve-Net Tactile Sensor
Reviewed
Yusuke Suganume, Minoru Sasaki, Takahiro Nakayama, Masanori Muroyama, Yutaka Nonomura
Eurosensors 2017
1
-
6
2017
-
マルチセンサプラットフォーム用マルチポイントバス接続型シングルエンド通信方法の提案
邵晨鐘, 田中秀治, 室山真徳
平成29年電気学会全国大会
19
-
20
2017
-
Fabrication of through silicon via with highly phosphorus-doped polycrystalline Si plugs for driving an active-matrix nanocrystalline Si electron emitter array
Reviewed
Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016
578
-
582
2016.11
-
A multiple sensor platform with dedicated CMOS-LSIs for robot applications
Reviewed
Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama
2016 IEEE 11th Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2016
245
-
250
2016.11
-
高荷重応用を目的とした厚膜ダイアフラムとストッパ構造をもつCMOS-on-LTCC集積化3軸触覚センサの開発
Reviewed
浅野翔, 室山真徳, 中山貴裕, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治
第8回 集積化MEMSシンポジウム
1
-
4
2016
-
3-Axis Fully-Integrated Surface-Mountable Differential Capacitive Tactile Sensor by CMOS Flip-Bonding
Reviewed
Sho Asano, Masanori Muroyama, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yohisyuki Hata, Yutaka Nonomura, Shuji Tanaka
MEMS 2016
850
-
853
2016
-
Development of a MEMS electrostatic condenser lens array for nc-Si surface electron emitters of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write system
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
SPIE 2016
977712-1
-
977712-9
2016
-
Development of a 17×17 parallel electron beam lithography system
Reviewed
Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Naokatsu Ikegami, Akira Kojima, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
136
(
9
)
413
-
419
2016
-
神経網型触覚センサ用LSIを用いた温感センシングの提案
Reviewed
菅沼雄介, Chenzhong Shao, 外山真一郎, 吉川正太, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 田中秀治, 室山真徳, 野々村裕
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2016
-
超並列電子線描画装置における電子光学系の小型化の検討
Reviewed
小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田孝, 須田隆太郎, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜, 越田信義
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
5
2016
-
表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製
Reviewed
鈴木裕輝夫, 福士秀幸, 室山真徳, 畑良幸, 中山貴裕, 平野栄樹, 野々村裕, 田中秀治
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2016
-
シーソ電極型触覚センサとセンサプラットフォームLSIの積層実装デバイスの作製と動作検証
Reviewed
畑良幸, 中山貴裕, 藤吉基弘, 橋本昭二, 大平喜恵, 大村義輝, 田中秀治, 室山真徳
第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2016
-
A Multiple Sensor Platform with Dedicated CMOS-LSIs for Robot Applications
Reviewed
Chenzhong Shao, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Travis Bartley, Yutanaka Nonomura, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama
IEEE NEMS 2016
1
-
6
2016
-
Development of MEMS Electrostatic Condenser Lens Array of the Massive Parallel Electron Beam Direct-Write System
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida
IEEE NEMS 2016
1
-
5
2016
-
Development of a MEMS Electrostatic Condenser Lens Array for nc-Si Surface Electron Emitter of the Massively Parallel Electron Beam Direct-Write System
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Ryutaro Suda, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2016
63
-
64
2016
-
Microsystem Integration Technologies for the Next Generation Robot Tactile Systems and Platform CMOS-LSIs
Invited
Masanori Muroyama
The Taiwan and Japan International Exchange Symposium
33
1
-
6
2016
-
Fabrication of Through Silicon Via with Highly Phosphorus-Doped Polycrystalline Si Plugs for Driving an Active-Matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array
Reviewed
Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
IEEE NEMS 2016
1
-
5
2016
-
Massive Parallel Electron Beam Direct Write (MPEBDW)
Reviewed
Hiroshi Miyaguchi, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
IEEE NEMS 2016
2016
-
ポリイミドフィルムと薄膜配線を用いた集積型OCXOチップのパッケージ内空中実装技術の開発
Reviewed
鈴木孝典, 室山真徳, 平智幸, 木村悟利, 田中秀治
第8回 集積化MEMSシンポジウム
1
-
5
2016
-
A 3-axis Tactile Sensor with Quad Seesaw Electrodes Measured by a Switched Capacitor Circuit
(
56
)
21
-
27
2016
-
An LSI for massive parallel electron beam lithography: Its design and evaluation
Reviewed
Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Naokatsu Ikegami, Akira Kojima, Ryosuke Kaneko, Kentaro Totsu, Shuji Tanaka, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
135
(
10
)
374
-
381
2015.10
-
Flipped CMOS-diaphragm capacitive tactile sensor surface mountable on flexible and stretchable bus line
Reviewed
S. Asano, M. Muroyama, T. Bartley, T. Kojima, T. Nakayama, U. Yamaguchi, H. Yamada, Y. Nonomura, Y. Hata, H. Funabashi, S. Tanaka
2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS 2015
97
-
100
2015.8
-
Development of ballistic hot electron emitter and its applications to parallel processing: active-matrix massive direct-write lithography in vacuum and thin-film deposition in solutions
Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS
14
(
3
)
2015.7
-
Review of development and performance evaluation of active-matrix nanocrystalline Si electron emitter array for massively parallel electron beam direct-write lithography
Reviewed
Naokatsu Ikegami, Akira Kojima, Hiroshi Miyaguchi, Takashi Yoshida, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Masanori Sugata, Nobuyoshi Koshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
135
(
6
)
221
-
229
2015.6
-
Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin-Film Deposition in Solutions
Reviewed
Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, Mamiko Yagi, Junichi Shirakashi, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Shinya Yoshida, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS
14
(
3
)
031215-1
-
031215-7
2015.3
-
Development of Ballistic Hot Electron Emitter and its Applications to Parallel Processing: Active-Matrix Massive Direct-Write Lithography in Vacuum and Thin Films Deposition in Solutions
Reviewed
Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Ryutaro Suda, M. Yagi, J. Shirakashi, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Hitoshi Nishino, Sinya Yoshida, Masanori Sugata, Kentaro Totsu, Masayoshi Esashi
2015 SPIE
942313-1
-
942313-7
2015
-
MEMS センサとCMOS-LSI を用いたバスネットワーク型触覚センサのシステム実証
Reviewed
室山真徳, Travis Bartley, 中山貴裕, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2015
-
CMOSダイアフラムとLTCC貫通ビアの集積化による3 軸触覚センサの試作
Reviewed
浅野翔, 室山真徳, Travis Bartley, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 畑良幸, 野々村裕, 田中秀治
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2015
-
A MEMS-CMOS Technology Based Tactile Sensor Network System
Reviewed
Masanori Muroyama, Sho Asano, Travis Bartley, Takahiro Nakayama, Yutaka Nonomura, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka
The 6th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS 2015
23
-
24
2015
-
Sensor Network Serial Communication System with High Tolerance to Timing and Topology Variations
Reviewed
Travis Bartley, Shuji Tanaka, Yutaka Nonomura, Takahiro Nakayama, Yoshiyuki Hata, Masanori Muroyama
IEEE SENSORS 2015
362
-
365
2015
-
センサと電極を同面配置した集積化触覚デバイスのためのフレキシブル基板実装技術の開発
Reviewed
鈴木孝典, 室山真徳, 田中秀治
第7回 集積化MEMSシンポジウム
1
-
5
2015
-
17×17 並列電子線露光システムの開発
Reviewed
宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 田中秀治, 江刺正喜
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2015
-
超並列電子線描画装置用nc-Si（ナノシリコン）面電子源のためのMEMS 静電コンデンサレンズアレイの開発
Reviewed
小島明, 池上尚克, 宮口裕, 吉田慎哉, 室山真徳, 戸津健太郎, 江刺正喜
第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム 」シンポジウム
1
-
6
2015
-
Application of MEMS Technology to Next Generation Lithography-Massive Parallel Electron Beam Lithography and Filter for EUV
Masayoshi Esashi, Nobuyoshi Koshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Hiroshi Miyaguchi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama, Yukio Suzuki
China Semiconductor Tech. Internal. Conf., (CSTIC 2015)
2015
-
Development of a 35 Mbps asynchronous bus based communication system for tactile sensors
Reviewed
Mitsutoshi Makihata, Masanori Muroyama, Yoshihiro Nakano, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Yoshiyuki Hata, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
134
(
9
)
300
-
307
2014
-
超並列電子線描画用LSIの設計と評価
Reviewed
宮口裕, 室山真徳, 吉田慎哉, 池上尚克, 小島明, 吉田孝, 戸津健太郎, 田中秀治, 江刺正喜
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
6
2014
-
CMOS-LSI/LTCC基板積層構造を有する集積化触覚センサの作製と実装
Reviewed
浅野翔, 室山真徳, 引地広介, 小島貴裕, 江刺正喜, 田中秀治, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸
第6回「集積化MEMSシンポジウム」
1
-
6
2014
-
シーソ電極型3軸触覚センサチップのスイッチトキャパシタ回路による動作
Reviewed
野々村裕, 畑良幸, 船橋博文, 大村義輝, 藤吉基弘, 明石照久, 中山貴裕, 山口宇唯, 山口整, 福士秀幸, 田中秀治, 室山真徳, 江刺正喜
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
6
2014
-
超並列電子線描画装置用アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源の開発と動作特性評価
Reviewed
池上尚克, 小島明, 宮口裕, 吉田孝, 西野仁, 吉田慎哉, 室山真徳, 菅田正徳, 越田信義, 戸津健太郎, 江刺正喜
第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
6
2014
-
超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクスnc-Si面電子源の開発（Ⅳ）
池上尚克, 小島明, 吉田孝, 西野仁, 吉田慎哉, 宮口裕, 室山真徳, 大井英之, 越田信義, 江刺正喜
第61回応用物理学会春季学術講演会
18p-F2-12
2014
-
Massively Parallel EB Direct Writing (MPEBDW) System Based on Microelectromechanical System (MEMS)/nc-Si Emitter Array
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Hitoshi Nishino, Masanori Sugata, Sinya Yoshida, Masanori Muroyama, Hideyuki Ohyi, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
2014 Advanced Lithography
904943-1-7
2014
-
An SOI Tactile Sensor with a Quad Seesaw Electrode for 3-Axis Complete Differential Detection
Reviewed
Yoshiyuki Hata, Yutaka Nonomura, Hirofumi Funabashi, Teruhisa Akashi, Motohiro Fujiyoshi, Yoshiteru Omura, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Hitoshi Yamada, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Masayoshi Esashi
MEMS2014
709
-
712
2014
-
次世代リソグラフィ技術へのMEMS応用 – 超並列電子線描画とEUV用フィルタ -
江刺正喜, 越田信義, 小島明, 池上尚克, 吉田孝, 室山真徳, 宮口裕, 西野仁, 鈴木裕輝夫
NGL 2014
1
-
2
2014
-
素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発
金子亮介, 吉田慎哉, 室山真徳, 宮口裕, 江刺正喜, 田中秀治
電気学会総合研究会
9
-
14
2014
-
A Tactile Sensor Network by MEMS-LSI Integrated Microsystems for Social Robot Applications
Reviewed
M. Muroyama, M. Makihata, Y. Nakano, S. Shuji, M. Esashi
2013 Smart Sensor Workshop
2013
-
バス型触覚センサネットワーク用高速シリアルインタフェースの開発
Reviewed
巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳宏, 田中秀治, 江刺正喜, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸
第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
5PM3-PSS-45
2013
-
LSIをダイアフラムとする集積化触覚センサの作製
Reviewed
小島貴裕, 巻幡光俊, 室山真徳, 江刺正喜, 田中秀治, 中山貴裕, 山口宇唯, 山田整, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸
第5回「集積化MEMSシンポジウム」
7PM1-E-2
2013
-
Development of Maskless Electron-Beam Lithography Using nc-Si Electron-Emitter Array
Reviewed
Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Takashi Yoshida, Hiroshi Miyaguchi, Masanori Muroyama, Hitoshi Nishino, Sinya Yoshida, Masanori Sugata, Sabri Cakir, Hideyuki Ohyi, Nobuyoshi Koshida, Masayoshi Esashi
2013 Advanced Lithography V
868001
-
868017
2013
-
Integrated MEMS-CMOS LSI Force Sensor for a Super Distributed Artificial Robot Skin
Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Yoshihiro Nakano, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
WPI-AIMR Annual Workshop 2013
2013
-
Integrated Tactile Sensor Device
M. Muroyama, M. Makihata, Y. Nakano, T. Kojima, S. Shuji, M. Esashi
Tohoku University AIMR and Fraunhofer ENAS Joint Workshop
2013
-
Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS capacitive tactile sensor for robot application using thick BCB isolation layer and backside-grooved electrical connection
Reviewed
M. Makihata, S. Tanaka, M. Muroyama, S. Matsuzaki, H. Yamada, T. Nakayama, U. Yamaguchi, K. Mima, Y. Nonomura, M. Fujiyoshi, M. Esashi
Sensors and Actuators, A: Physical
188
103
-
110
2012.12
-
非同期シリアル通信を用いて実装後パラメータ設定可能な集積化触覚センサ用LSI
Reviewed
室山真徳, 中野芳宏, 巻幡光俊, 田中秀治, 山田整, 山口宇唯, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 江刺正喜
集積化MEMSシンポジウム2012
91
-
96
2012
-
MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor with Digital Signal Processing for Robot Application
Reviewed
Mitsutoshi Makihata, Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Hitoshi Yamada, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Kazuhiro Mima, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Masayoshi Esashi
2012 MRS Spring Meeting
1
-
8
2012
-
超並列電子線描画装置システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案とその低消費電力化
綿屋孝祐, 宮口裕, 室山真徳, 田中秀治, 小島明, 池上尚克, 吉田孝, 江刺正喜
電気学会研究会2012
87
-
92
2012
-
A simulated network system prototype for development of a networked tactile sensor system with integrated MEMS-LSI tactile sensors
Reviewed
Yoshihiro Nakano, Masanori Muroyama, Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Sakae Matsuzaki, Hitoshi Yamada, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Masayoshi Esashi
IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines
132
(
9
)
288
-
295
2012
-
CMOS-MEMS集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
Reviewed
巻幡光俊, 室山真徳, 中野芳宏, 山田整, 山口宇唯, 山口宇唯, 野々村裕, 船橋博文, 畑良幸, 田中秀治, 江刺正喜
集積化MEMSシンポジウム2012
85
-
90
2012
-
Integration and Packaging Technology of MEMS-on-CMOS Tactile Sensor for Robot Application Using Molded Thick BCB Layer and Backside Grooved Electrical Connection
Reviewed
Mitsutoshi Makihata, Shuji Tanaka, Masanori Muroyama, Sakae Matsuzaki, Hitoshi Yamada, Takahiro Nakayama, Ui Yamaguchi, Kazuhiro Mima, Yutaka Nonomura, Motohiro Fujiyoshi, Masayoshi Esashi
Transducers 2011
815
-
818
2011
-
触覚センサネットワーク評価用システム
中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜
次世代センサ研究発表会
1
2011
-
Tactile Sensor Network Systems by Interruption Network, Integrated Devices of MEMS and LSI, and Bonding/Sensing/Covering Materials
Masanori Muroyama, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi
WPI-AIMR Annual Workshop 2011
2011
-
汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜
センサ・マイクロマシン部門総合研究会2011
21
-
25
2011
-
集積化触覚センサ開発のための模擬ネットワーク
Reviewed
中野芳宏, 室山真徳, 巻幡光俊, 田中秀治, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜
第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
1
-
6
2011
-
Smart and Flexible Tactile Sensor Network Systems by Integrating LSI and MEMS
WPI-AIMR Annual Workshop 2010
2010
-
ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
Reviewed
室山真徳, 巻幡光俊, 中野芳宏, 松崎栄, 山田整, 山口宇唯, 中山貴裕, 野々村裕, 藤吉基弘, 田中秀治, 江刺正喜
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
126
-
131
2010
-
Hierarchical Low-Power VLSI Design Techniques Considering Input Signal Transition Behavior
Masanori Muroyama
Information Processing
1210
-
1210
2009.12
-
Advanced materials for MEMS
Masayoshi Esashi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama
WPI-AIMR NEWS
6
85
-
95
2009
-
ネットワーク型触覚センサのウェハレベル集積化・パッケージング技術
Reviewed
巻幡光俊, 田中秀治, 室山真徳, 松崎栄, 野々村裕, 藤吉基弘, 江刺正喜
集積化MEMSシンポジウム2009
19
-
23
2009
-
Analysis of Effects of Input Arrival Time Variations on On-Chip Bus Power Consumption
Reviewed
Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura
18th International Workshop on Power and Timing Modeling, Optimization and Simulation (PATMOS 2008)
62
-
71
2009
-
負荷変動に瞬時適応可能なマルチパフォーマンスプロセッサの設計と評価
山口 誠一朗, 大山 裕一郎, 国武 勇次, 松村 忠幸, 石飛 百合子, 山口 聖貴, 李 東勲, 金田 裕介, 舟木 敏正, 室山 真徳, 石原亨, 佐藤 寿倫
電子情報通信学会技術研究報告, Vol.107, No.558
1
-
6
2008
-
組込みシステムの消費エネルギー削減を目的とした不均一キャッシュアーキテクチャ
Reviewed
山口 誠一朗, 石飛 百合子, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
DAシンポジウム2008
25
-
30
2008
-
AMPLE: An adaptive multi-performance processor for low-energy embedded applications
Reviewed
Tohru Ishihara, Seiichiro Yamaguchi, Yuriko Ishitobi, Tadayuki Matsumura, Yuji Kunitake, Yuichiro Oyama, Yusuke Kaneda, Masanori Muroyama, Toshinori Sato
2008 Symposium on Application Specific Processors, SASP 2008
83
-
88
2008
-
製造後にタイミング補正可能なオンチップバスアーキテクチャ
山口 聖貴, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, VLD2007-79, DC2007-34(2007-11)
55
-
60
2007
-
製造後に性能補償可能なオンチップバスアーキテクチャ
山口 聖貴, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
2007年電気関係学会九州支部連合大会
208
2007
-
低消費エネルギーシステムのための適応型マルチパフォーマンスプロセッサ
大山裕一郎, 室山真徳, 石原亨, 佐藤寿倫, 安浦寛人
電子情報通信学会総合大会
SS-P-61
2007
-
プロセスばらつきを考慮したSRAMセルの低消費電設計手法
松村 忠幸, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会2007年総合大会
45
-
46
2007
-
プロセッサベース組込みシステムの低消費電力化を目的としたクロックゲーティング命令に関する検討
山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会2007年総合大会
108
2007
-
プロセッサベース組込みシステムの省エネルギー化を目的としたコード配置手法
石飛 百合子, 石原 亨, 室山 真徳, 安浦 寛人
電子情報通信学会2007年総合大会
S.47
-
S.48
2007
-
90nmCMOS回路における遅延・電力ばらつきのゲート段数およびゲート幅依存性に関する考察
山口 聖貴, Yuan Yang, 坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, VLD2006-118, ICD2006-209(2007-03)
73
-
78
2007
-
CMOS回路におけるタイミング歩留り最大化のためのゲートサイジング手法の提案
坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告 ICD2006-208
67
-
72
2007
-
小容量オンチップメモリの有効利用による組込みシステムの低消費エネルギー化
山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
平成19年度電気関係学会九州支部連合大会
207
2007
-
マルチタスク組込みアプリケーションの低消費エネルギー化のためのメモリ管理技術
山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, Vol.107, No.334
25
-
29
2007
-
Energy management techniques for SOC design
Reviewed
Hiroto Yasuura, Tohru Ishihara, Masanori Muroyama
Essential Issues in SOC Design: Designing Complex Systems-on-Chip
177
-
223
2006
-
90nmCMOS回路における遅延および電力ばらつきの実測と解析
山口 聖貴, Yang Yuan, 樽見 幸祐, 坂本 良太, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, VLD2006-13(2006-05)
41
-
46
2006
-
A simulation-based soft error estimation methodology for computer systems
Reviewed
Makoto Sugihara, Tohru Ishihara, Koji Hashimoto, Masanori Muroyama
Proceedings - International Symposium on Quality Electronic Design, ISQED
196
-
203
2006
-
An energy analysis for quality-driven digital wireless communication systems
Reviewed
19
223
-
228
2006
-
マイクロプロセッサのエネルギー消費特性抽出とソフトウェアデバッガを用いた消費エネルギー見積もり
李 東勲, 石原 亨, 室山 真徳, 安浦 寛人, Farzan Fallah
情報処理学会研究報告, Vol.2006, No.124
109
-
114
2006
-
Exploiting Narrow Bitwidth Operations for Low Power Embedded Software Design
Reviewed
Seiichiro Yamaguchi, Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura
13th Workshop on Synthesis and System Integration of Mixed Information Technologies (SASIMI2006)
51
-
56
2006
-
Exploiting Narrow Bitwidth Operations for Low Power Embedded Software Optimization
Reviewed
Seiichiro Yamaguchi, Masanori Muroyama, Tohru Ishihara, Hiroto Yasuura
International PhD Student Workshop on SOC
1
-
4
2006
-
オペランドのビット幅を考慮したソフトウェアレベル消費エネルギー削減手法
山口 誠一朗, 室山 真徳, 石原 亨, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, Vol.106, No.31
13
-
18
2006
-
通信品質を考慮したディジタル無線通信システムの低消費エネギー化の検討
徳永 将之, 辻本 泰造, 安浦 寛人, 室山 真徳
電子情報通信学会技術研究報告, Vol.106, No.386
7
-
12
2006
-
An Energy Characterization Framework for Software-Based Embedded Systems
Reviewed
Donghoon Lee, Tohru Ishihara, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
2006 IEEE/ACM/IFIP Workshop on Embedded Systems for Real Time Multimedia (ESTIMedia2006)
1
59
-
64
2006
-
プログラムの動作を考慮したコンピュータシステムのソフトエラー数見積もり技術
杉原 真, 石原 亨, 橋本 浩二, 室山 真徳
情報処理学会研究報告, Vol.2005, No.102
49
-
54
2005
-
A Variation-Aware Low-Power Coding Methodology for Tightly Coupled Buses
Reviewed
Masanori Muroyama, Kousuke Tarumi, Koji Makiyama, Hiroto Yasuura
10th Asia South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC2005)
557
-
560
2005
-
低演算精度の計算における電力削減手法
Reviewed
山口 誠一朗, 室山 真徳, 樽見 幸祐, 安浦 寛人
DAシンポジウム2005
267
-
272
2005
-
Bitwidth optimization for low power digital FIR filter design
Reviewed
Kosuke Tarumi, Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences
E88-A
(
4
)
869
-
875
2005
-
An Application Oriented Energy Reduction Technique for Wireless Communications
Reviewed
Kosuke Tarumi, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
7th International Joint Symposium between Chungnam National University and Kyushu University
10
-
13
2005
-
CMOSプロセスにおけるゲート遅延ばらつき測定回路の提案
坂本 良太, 室山 真徳, 樽見 幸祐, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, ICD2005-70
19
-
23
2005
-
A Power Reduction Scheme for Data Buses by Dynamic Detection of Active Bits
Reviewed
Masanori Muroyama, Akihiko Hyodo, Hiroto Yasuura
IEICE Transactions on Electronics
E87-C
(
4
)
598
-
605
2004.4
-
A Power Reduction Technique for an Equalization Circuit Using Adaptive Bitwidth Control
Reviewed
Kousuke Tarumi, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
IEICE Technical Report, CAS2004-16, VLD2004-27, SIP2004-30
37
-
41
2004
-
A Design Method for a Low Power Digital FIR Filter in Digital Wireless communication systems
Reviewed
Kousuke Tarumi, Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
The 17th Workshop on Circuits and Systems in Karuizawa
223
-
228
2004
-
A Design Method for a Low Power Equalization Circuit by Adaptive Bitwidth Control
Reviewed
Kosuke Tarumi, Masanori Muroyama, Seiichiro Yamaguchi, Hiroto Yasuura
International Symposium on Communications and Information Technologies 2004 (ISCIT2004)
704
-
709
2004
-
An Energy Reduction Technique for Digital Wireless Communicaion Systems
樽見 幸祐, 真島 優輔, 室山 真徳, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告 VLD2004-96, ICD2004-182, DC2004-82
209
-
214
2004
-
Energy Efficient Scheduling for Hard Real-Time Tasks on Dynamic Pipeline and Voltage Scaled Processor
Reviewed
Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Kousuke Tarumi, Hiroto Yasuura
6th World Automation Congress (WAC 2004)
285
-
291
2004
-
Variable Pipeline Depth Processor for Energy Efficient Systems
Reviewed
Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
Euromicro Symposium on Digital System Design (DSD2003)
481
-
488
2003
-
A power reduction scheme for data buses by dynamic detection of active bits
Reviewed
M. Muroyama, A. Hyodo, T. Okuma, H. Yasuura
Proceedings - Euromicro Symposium on Digital System Design, DSD 2003
408
-
415
2003
-
Variable Pipeline Depth Processor for Energy Efficient Systems
Reviewed
Akihiko Hyodo, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
IEICE Technical Report, VLD2003-10
19
-
24
2003
-
アクティブビットを考慮したデータバスの電力削減手法
Reviewed
室山真徳
九州大学修士論文
2002.3
-
アクティブビットを考慮したバスの低電力化手法
Reviewed
室山 真徳, 兵頭 章彦, 大隈 孝憲, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, VLD2001, ICD2001
67
-
72
2002
-
アクティブビットを考慮した低電力データパス設計手法
Reviewed
室山 真徳, 兵頭 章彦, 大隈 孝憲, 安浦 寛人
電子情報通信学会技術研究報告, VLD2002
1
-
6
2002
-
Reducing Access Energy of On-Chip Data Memory Considering Active Data Bitwidth
Reviewed
Takanori Okuma, Yun Cao, Masanori Muroyama, Hiroto Yasuura
International Symposium on Low Power Electronics and Design (ISLPED2002)
88
-
91
2002
-
A power minimization technique for arithmetic circuits by cell selection
Reviewed
T. Muroyama, T. Ishihara, A. Hyodo, T. Yasuura
Proceedings - 7th Asia and South Pacific Design Automation Conference, 15th International Conference on VLSI Design, ASP-DAC/VLSI Design 2002
268
-
273
2002
-
A Design Method for Low Power Arithmetic Circuits Considering Input Patterns
Reviewed
MUROYAMA Masanori, ISHIHARA Tohru, HYODO Akihiko, YASUURA Hiroto
IPSJ Journal
42
(
4
)
1007
-
1015
2001.4
-
特定用途向け高性能低消費電力プロセッサの設計手法の検討
安浦寛人, 兵頭章彦, 室山真徳
平成12年度 特定領域研究シンポジウム「知的瞬時処理複合化集積システム」
155
-
158
2001
-
入力信号パターンを考慮した低電力並列乗算器の設計手法
Reviewed
室山真徳, 石原亨, 兵頭章彦, 安浦寛人
DAシンポジウム '00
61
-
66
2000
-
スタンダードセルの回路構造が消費電力と遅延に与える影響
Reviewed
室山真徳, 石原亨, 兵頭章彦, 安浦寛人
746
1999
